Last Updated： Aggregation Period:2026年02月18日～2026年03月17日
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高倍率観察時の細かい位置調整に好適！市販の顕微鏡と組み合わせて使用
『3R-XY01』は、XYマイクロメーターを回して位置調整するだけで、 観察したい箇所を簡単に移動させることができるXYステージです。 ワークを手で動かすことで、行き過ぎたり角度が変わったりして見たい箇所が スムーズに見られない、ということも無くなります。 また、下からの光を当てるための穴があるので、透過照明による観察でも ご活用いただけます。 【特長】 ■ワークを直接触らずに位置調整 ■透過照明に対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました！
精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスＬＭガイドＣＳＲ形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルＸＹステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、ＸＹ各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。 詳しくはお問い合わせください。
優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX（XYステージ）は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
ガタが一切なく、極めてなめらかでスムーズな摺動を実現したステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 通常のミニチュアステージはガタがあったりバネ式でギシギシ動く欠点がありますが、「フロントロックステージ」はミニチュアサイズでありながらガタが一切なく、極めてなめらかでスムーズな摺動を実現しました。 また、ハンドルの根本部分で固定ができるストッパー機能を標準装備し、操作性も抜群です。 【ラインナップ】 ○FR-X：X軸 ○FR-XY：XY軸 ○FR-Z：Z軸 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
True nano Tech 薄型高剛性ステージ
ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。 従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。
ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
近年、レーザー加工で求められる>45°のレーザー入射角。ALIO Industries社からの提案が5D Laser Ginbalとなります。 高精度ジンバル駆動+高精度モノリシックXY+ Z軸のコンビネーションの一見、複雑な駆動系を多軸補間をコントローラーに埋め込むことにより、 ユーザーはシンプルなGUIで高速・高精度のステージとレーザー(On/off, Power等)の同期制御が可能となります。
薄型XY回転ステージを使用。芯出しが短時間で可能になった事例をご紹介
精密機械会社の品質管理課で使用している部品の外周振れ測定治具の 改善事例をご紹介いたします。 ワークのセンターリング(芯出し)に時間がかかっていることが課題でした。 そこでX軸Y軸の移動と360°回転ができるステージを採用。従来のようにボルトを 緩めて位置調整板を移動させるより短時間で芯出しができるようになりました。 【事例概要】 ■課題 ・ワークのセンターリング(芯出し)に時間がかかっている ■解決 ・ボルトを緩めて位置調整板を移動させるより短時間で芯出しが できるようになった ・外周振れ測定も精度よくできるようになった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性かつ高さをおさえて低いスペースでも対応可能
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ DX（中抜きXYステージ）は、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージです。各軸と案内中心と送りボールねじの駆動中心を同一高さの配置構造とすることで、 姿勢変化を少なくすることができ、高精度な位置決めが可能です。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
最大180°屈折、360°回転、±20°傾斜…位置決め自由自在！
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「あおり旋回ステージ」は、ユニークな発想から生まれた最大180°屈折・360°回転の、位置決め角度が自由自在なステージです。 「回転ステージ」は、手動でしっとりなめらかに360°回転するステージです。 「薄型XY回転ステージ」は、従来品の組み合わせより30％近く薄型で、外観が円盤形状のコンパクトな一体型複合機能ステージです。 「傾斜ステージ」は、シーソーのように傾斜し、任意の位置でクランプレバーにより固定できます。 【特長】 [あおり旋回ステージ] ○メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現 [回転ステージ] ○逆さまに取り付けても使用可能 [薄型XY回転ステージ] ○X軸・Y軸・回転摺動が可能 [傾斜ステージ] ○±20°の簡易式 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
![XYθテーブル [マイクロヘッド方式]](https://image.www.ipros.com/public/product/image/9ca/2000126345/IPROS6572562354404564434.JPG?w=280&h=280)
マイクロメーターによる高精度位置合せでオープンショート検査機をサポート
コンパクト！安価！ 3軸方向の小型微調整用精密ステージで精緻な位置合わせが可能。 オープンショート検査機を強力にサポートします！ 【特長】 ■マイクロメーターによる高精度位置合わせができます。 ■テーブル寸法 60×60［mm］ ■外形寸法 123×120×30［mm］ ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDFをダウンロードしてください。 ※総合カタログ進呈しております。お気軽にお申し付けください。
X、XY、XYZ、θ等、数多く取揃え！モーターに対応するコントローラーも提供
『ピエゾモーターステージ』は、オーテックスが取り扱うNANOS社の製品です。 ナノスインストゥルメンツ社は、ピエゾモーター社のピエゾモーターを 利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。 ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多くの 品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだ クローズドループタイプにも対応しています。 【特長】 ■各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作 ■X、XY、XYZ、θ等、数多くの品数をラインアップ ■オープンループやクローズドループタイプにも対応 ■モーターに対応するコントローラーもご提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2つのリバーシブル設計！前後、左右、裏表 自由自在の新発想ステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「リバーシブルステージ(R)」は、表と裏が異なる形状のステージ面や、目盛板・クランプレバーの前後左右の組み替え、一軸で二方向（XY）摺動など、柔軟性と操作性を併せ持つステージです。 左右対称に並べて、両手両側でXY操作をする用途にも大変便利です。 【特長】 ○2つのリバーシブル設計 ○表裏両面使用可能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」は薄型筐体でありながらも高剛性があります。 最大耐荷重25kgまで対応しております。 【特長】 ■軽量 ■コンパクト ■高精度 ■水平面Zくさび方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトで豊富なラインナップ！用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm～300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最小限に抑えたリニアステージ。直立・倒立でも使用OK！。
当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、 ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz の組み合わせ自由 ■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ ■XY直交度1秒角のオプションあり ■真空オプションあり ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
スライドガイド採用！低価格で高品質を実現しました
『KXSシリーズ』は、スライドガイドを採用し低価格を実現した 自動ステージです。 スライドガイドの採用で、ロングストロークを実現しています。 精密加工技術を生かした内製のボールねじ、スライドガイドを採用しました。 機構部品内製化により高品質で、センサを本体内部に配置することにより、 ステージ側面の突出もなくコンパクトな構造です。 【特長】 ■ロングストローク ■低価格 ■高品質 ■コンパクト ■カバータイプ ・ 異物落下防止 ・ グリース飛散予防 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
職人の微細な手作業から生まれるなめらかな摺動と高耐久性！
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「熟練の技ステージ(R)」は、熟練の技によるアリ溝の摺り合わせ技術で高品質・低価格を実現、なめらかな摺動と、高耐久性が特長です。 また、クランプレバーの採用により固定保持力もアップし、レバーの位置方向セットも自在です。 ボルトネジ固定部は、粘弾性材塗布により震動や衝撃を吸収・減衰させて、ネジの緩みを防止します。 【特長】 ○強化クランプレバー ○防震対策 ○自在な取付方向 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
クローズドループシステムであっても、インターチェンジャブルに使用できます。
Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。 これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。 【仕様】 [ピエゾ用低ノイズドライバー] ○可動軸 1～6軸 ○電流値 10-800mA ○対応センサー ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ ○電圧ノイズ ＜0.3mV RMS.@500Hz ○キャリブレーションフリーシステム →クローズドループシステムであっても、 インターチェンジャブルに使用できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「セミオーダーステージ(R)」は、ハンドル・予圧調整ネジ・目盛・ストッパー・ベース・Z 軸ブラケットなどがお好みで自由に選択できるユーザー仕様のステージです。 薄型・軽量でラック＆ピニオン式と送りねじ式があり、熟練の技ステージ(R)とは異なるサイズ展開で差別化を図ると共に、使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。 【基本ステージ特長】 ○自由な組み合わせ ○優れた操作性 ○固定力の強化 ○リバーシブル設計 ○便利な機能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転も可能！ 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
