非接触型薬液濃度モニタ『CS-900』
薬液濃度管理で歩留まり向上・プロセスの最適化へ貢献します
『CS-900』は、半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に 対応するため安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の 配管保持構造、コンパクトデザインなど現場ニーズに好適な 高機能化を果たしている非接触型薬液濃度モニタです。 PFA配管へダイレクトに外付けする独自のセンサ構造により コンタミリスクが"ゼロ"に。また、センサ取り付け時における配管施工等が 不要になり、薬液漏れなどの事故のリスク削除をもたらします。 【特長】 ■光ファイバーを使用しない光学設計とアンプ・センサの小型化により 設置レイアウトの自由度が向上 ■完全非接触かつ高安定性を実現 ■薬液(20℃~80℃)のダイレクト・安定測定を実現 ■簡単取り付け、取り外しが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業:株式会社堀場アドバンスドテクノ 京都本社
- 価格:応相談