ガス精製フィルター『125シリーズ』
流量を基準とした各サイズに加えて、多種多様なバルブ形状・フィルター形状も取り揃えております
『125シリーズ』は、用途に合わせて柔軟に対応できるように設計された 室温型ガス精製器です。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去。ほとんどの場合、ガスに含まれる不純物は 1ppb未満にまで除去されます。 【特長】 ■寿命 ・公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として約1年 ※具体的な寿命についてはお問い合わせください ■最大流量:5slpm ■公称流量:1slpm ■最大圧力:0.97MPa(200psig) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業:アップ・テック・ジャパン株式会社
- 価格:応相談