空調・冷暖房・換気機器の製品一覧
- 分類：空調・冷暖房・換気機器
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地震発生から津波到達まで避難が間に合わない！ 猛烈な速度で迫ってくる津波から生存率を劇的に高める『津波対策用シェルター』です！
- 地下室ユニット・防災シェルター
国土交通省能登復興事務所公式・日本経済新聞に当社の3Dプリンターが掲載されました
国土交通省能登復興事務所公式Xと日本経済新聞にて、能登復興に 当社の3Dプリンターを採用いただいたことが掲載されました。 国土交通省能登復興事務所公式Xでは、 能越道復旧工事で当製品を 用いた施工を行っていることを紹介いただいております。 また、日本経済新聞では、能登半島地震で損壊した道路の復旧に当製品 で作製した構造物が使われていること、工期を2週間程度短縮できること について記載されていますので、ぜひご覧ください。
結露を拭き取る煩わしさからも開放！3つに分かれた系統を暮らしに合わせて運転し、光熱費も抑えられている
- 冷暖房機器・設備
高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）
- 空気調和設備
- ダクト関連設備
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）
- 空気調和設備
- ダクト関連設備
ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar） [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター：Max1000℃（真空中、不活性ガスのみ） ・SiCコーティングヒーター：Max1000℃（真空、不活性ガス、O2）
窓を開けずに換気ができるトルネックスの大風量空気清浄機。 ウイルスサイズの粒子を高効率で捕集。 飛沫によるリスク低減。
- 換気・排煙機器設備
窓を開けずに換気ができるトルネックスの大風量空気清浄機。ミーティング時に飛沫が対面者に届く前に素早く吸引し、リスク低減。
- 換気・排煙機器設備
換気に替わる大風量空気清浄機 トルネックスブラスト 大風量トルネード吸引で1台で138平米まで対応、きれいな空気を循環
- 空気調和設備
