9分割制御方式のため、基板上の温度管理を均一にできます
『G6乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。 乾燥時に起きる、ピンムラ対策として、Φ1mmのワイヤーで 基板受け渡しを行います。 また、ワイヤー位置は、ステッピングモータを使用(8ユニット)パターン外 の位置に設定を行うことで、パターン内の乾燥ムラを防止します。 【仕様】 ■温度性能：室温〜200度(プレート上) ■温度精度：表面温度±3度以内 ■方式：マイカヒーター・9割制御 ■ヒーター出力：2200W×9回路 19.8Kw ■電力：三相200V 50/60HZ ■圧縮空気：0.5Mpa 100L/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【用途】 ■半導体製造装置関連、FPD製造装置関連 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください
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