SEMICON Japan 2017

真の質量流量が測定可能なコリオリ式デジタルマスフローメータ（流量計）及びコントローラ

液体・ガス用精密マスフローメータ（流量計）/コントローラは、先進的なコリオリ式センサー(パテント取得済み）を使用しており運転条件の変化（圧力、温度、密度、熱伝導率、粘度等）に関係なく直接質量を計測するハイパフォーマンスの計器です。調節弁はインテグラルタイプや分離型がご利用いただけます。調節弁はそのモジュール構造において競合他社製とは異なっており、調整作業なしに顧客が現場で交換可能です。標準バルブはノルマルクローズタイプでKv値が1.5までご利用いただけます。又、ノルマルオープンも供給可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• その他

耐圧防爆タイプ 国内防爆/IECEx / ATEX Zone-1 認証の液体用コリオリ式マスフローメータ、ガスの測定にも対応

『mini CORI-FLOW Ex d』は、危険場所で適用できるよう堅牢設計された液体/ガス用コリオリ式マスフローメータ(質量流量計)です。 コンパクトな質量流量計mini CORI-FLOWシリーズM12-M14を耐圧防爆容器に収めました。mini CORI-FLOWEx dシリーズは100 mg/h～30 kg/hの小流量域をカバーします。機器は最大圧力10.7または13.8 MPa(a)までのライン圧力でご利用頂けます。 【特長】 ■国内防爆型式検定合格 (IIB T6 Gb) ■IECExおよびATEX承認、耐圧防爆 ■流体特性に依存しない直接質量流量測定 ■高精度・優れた繰り返し性 ■マルチレンジ ■標準：アナログ0 ... 5(10) Vdcおよび0(4)... 20 mA出力とデジタル通信 RS232 ■オプション：RS485通信対応 (Modbus, PROFIBUS-DP, DeviceNet, FLOW-BUS) ■本質安全Ex i 4...20 mA電流出力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転に加えて、デジタルモードでもご使用いただけま す。 【特長】 ○簡単、コンパクト構成；使い易い ○液体ソースの昇圧不要 ○コンパクト完全分給システム ○直接質量計測及び制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。 【適用例】 ○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用 →容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる ○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用 →高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

極小流量から小流量域で、従来の10分の1のコンパクトサイズ流量計。 コスト効率の良い質量流量計及び調節計を追求した設計。 ●世界最小のコリオリ式流量調節計 ●高精度1：運転条件(圧力、温度、密度、熱伝導度、粘度)が 　変化しても影響されない仕組み。 ●高精度2：読み値±0.2の世界最小の誤差範囲 ●液体及び気体に適用可能 ●ヨーロッパで多数実績あり ・・・その他多くの特徴があります。 ★詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

• その他

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

福島コンピューターシステム（FCS）は、2026年11月12日（木）・13日（金）に幕張メッセで開催される、国内最大級のCybozu社イベント「Cybozu Days Japan 2026」へ出展いたします。 FCSブースでは、紙・PDF・画像からの入力作業を効率化する「モジトリ」と、kintoneに蓄積した情報の活用を支援する「StockNaut」を中心に、導入事例や活用ノウハウをご紹介します。 「現場の業務をもっと効率化したい」「kintone活用の幅を広げたい」とお考えの方に向けて、実際の活用事例や具体的な運用イメージをご覧いただける内容をご用意しています。 また、出展内容や見どころをまとめた特設ページを公開しました。ぜひ事前にご覧いただき、当日のブース訪問にお役立てください。 ▶ 特設ページ https://marketing.fcs.co.jp/lp/CybozuDays2026?k3ad=ipros

三相電機株式会社は、東京ビッグサイトで開催される 「第14回 SMART ENERGY WEEK ～スマートエネルギー WEEK～【関西】」に 出展いたします。 本展は、西日本最大級規模として、太陽光発電、二次電池、スマートグリッドなど 様々な技術が出展し、世界各国から専門家が来場する展示会として業界に定着している 展示会です。 -80℃に対応可能な低温仕様や250℃に対応可能な高温仕様のDCブラシレス キャンドポンプ。少しでも気になった方はぜひ当社ブースへお越しください。

クレオ株式会社は、東京ビッグサイトにて開催される「レジャー＆スポーツジャパン2026」へ出展いたします。 「レジャー＆アウトドアジャパン2026」は、レジャー・アウトドア業界の最新製品やサービスが集まる専門展示会です。 公園・レジャー施設・テーマパーク・アウトドア施設などの運営や開発に携わる事業者に向けて、新たな施設づくりやサービス向上につながる製品・技術・ソリューションが紹介されます。 弊社ブースでは、ウォーターパーク遊具を中心に遊び空間を創造する製品をご紹介します。 皆様のご来場を、心よりお待ちしております。 ご来場の際はご来場の際には必ずWEBの事前登録が必要です。 ▼こちらから事前登録をお願いいたします。 https://leisure-japan.jp/visitors/

部品の数え間違い、“人の目”に頼っていませんか？東京パック2026では、計数・計量・包装の4機種を実機でご覧いただけます。 ・2方向ミラー分光画像処理型ビジョンカウンター：分解能65.5ミクロン。重なった微小パーツも識別 ・CCD型画像処理型パーツカウンターVC-200型：コネクター・電子パーツ・ゴム・プラスチック製品など多品種に対応 ・ミニ型フィーダー式計量機：お茶・コーヒー粉豆・米・粉体などを計量 ・超小型ガス充填給袋式自動包装機GX-402型：平袋10〜500g、ガゼット袋100〜500gに対応 ※出展機は標準仕様の代表例です。実際の仕様はオーダーメイドで個別に対応いたします。

部品の数え間違いや員数確認の手間は、製造現場の見えにくいコストです。JIMTOF2026では、カメラ画像処理とAIで部品を数える松楽産業のビジョンカウンターを2機種出展します。2方向ミラー分光画像処理型ビジョンカウンターは、分解能65.5ミクロン。2方向から捉えることで、ねじ・ビス・金属素子などの重なった微小パーツも的確に識別します。CCD型画像処理型パーツカウンターVC-200型は、4台のフィーダーとAI自己学習により、コネクター・電子パーツ・ゴム・プラスチック製品など多品種に対応します。 ※出展機は標準仕様の代表例です。実際の仕様はオーダーメイドで個別に対応いたします。