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2024/10/15

ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
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ANNEAL_2022.pdf[2105434]

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テルモセラ・ジャパン_ANNEAL掲載ページ
開発製造元 Moorfield Nanotechnology社(英) http://moorfield.co.uk/anneal/
ANNEAL 装置紹介動画サイト
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ML-S125-iPROS_550-1.jpg

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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PyroNFC_iPROS.jpg

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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ExTemp_550.jpg

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

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【TCF-C500】超高温小型実験炉 Max2900℃

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

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施工講習がオンラインで24時間受講可能!ファイヤーレスジョイント「FJ」

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施工時に必要な修了証はデータ保存でOK!受講後も復習用動画で施工方法をいつでも再確認! ※ファイヤーレスジョイント「FJ」の施工には施工講習の受講が必要です※ インターネット環境があれば24時間どこでも受講可能! 動画で手軽に受講! 確認テストに合格すれば施工講習修了証がメールで届く!※1 施工講習修了証はPDFやスクリーンショットで保管すればOK!※2 ※1 施工講習修了証は1~5日で送付 ※2 既に発行したカード形式の修了証も変わらず使用可能 ★すでに講習を受講済みの皆様へ★ もう一度、施工方法を確認したい… 講習の内容を忘れてしまった… そんなときに再度ご確認いただける、復習用の施工講習動画を公開しています ■製品詳細 空調冷媒用火無し継手 ファイヤーレスジョイント「FJ」 ナットを差し込むだけの火無し工法!

2026年08月25日

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【展示会情報】緑十字展2026 in 札幌(9/16~18)

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2026年9月16日(水)から開催されます「緑十字展2026 in 札幌 ~働く人の安心づくりフェア~」に出展いたします。 デュポン(TM)タイケムⓇ製化学防護服を中心とした化学物質ばく露防止対策製品や バリエーション豊富な難燃防護服・高視認性防護服などをご紹介。 様々な作業現場に対応した安心・安全のソリューションを提供するための新製品も多数展示いたします。 皆様のご来場をお待ちしております! ●日程 2026年9月16日(水) 10:00~17:00      2026年9月17日(木) 9:00~17:00      2026年9月18日(金) 9:00~15:00 ●会場 札幌市スポーツ交流施設 コミュニティドーム(つどーむ)(札幌市東区) ●小間番号 C-43 ※緑十字展2026への入場には、事前の来場登録(無料)が必要です。 ※ご不明な点等ございましたら、関連リンク【防護服の知恵.com】よりお気軽にお問い合わせください。

2026年08月25日

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日本海洋学会 2026年度秋季大会に出展(9月8日~10日)

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日本海洋学会 2026年度秋季大会に出展いたします。 海洋環境モニタリングや水中用タイムラプスカメラの使用例、試料分析など、様々な海洋調査サービスの紹介を行います。 2028年度新卒採用および中途採用についてもお気軽に展示ブース係員にお声がけください。 皆様のお越しをお待ちしております。 開催日:2026年9月8日(火)~9月10日(木) 場 所:東京海洋大学 品川キャンパス(東京都港区)     ⽩鷹館2F多⽬的スペース1

2026年08月25日

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幼稚園 屋上 猛暑対策(AQUAミストゾーナー)

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2026年7月某日、幼稚園の屋上に猛暑下でも子供たちが安心して屋外で活動できる環境を提供するため、冷却システム「AQUAミストゾーナー」を設置いたしました。 【経緯】 幼稚園の屋上を子どもたちの遊び場として活用していましたが、夏季の強い日差しや輻射熱により、屋外活動が制限されていました。 そこで、日除けシェードや人工芝を整備するとともに、さらなる猛暑対策としてミストによる「冷却エリア」を検討。 安全性・経済性・操作性にも配慮した暑さ対策として、「AQUAミストゾーナー」をご採用いただきました。 【設置】 お客様のご要望に基づき、出入口付近の壁面上部に設置し、屋上へのミスト拡散効果を高めるとともに、子どもたちの快適性向上と熱中症リスクの低減につなげています。 【AQUAミストゾーナーの効果】 ● 取水が容易 ● 低コスト ● 広範囲に対応 ● 操作が簡便 スイッチひとつでミスト噴霧とエアー拡散を操作でき、スタッフの負担を抑えながら手軽に暑さ対策ができます。 幼稚園・保育園の園庭や屋上をはじめ、学校・スポーツ施設・イベント会場など幅広い屋外空間で活用いただけます。

2026年08月24日

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9月16日〜18日【緑十字展2026 in 札幌】出展のご案内

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当社は、「緑十字展2026 in 札幌」に出展いたします。 期間:2026年9月16日(水)~18日(金) ・16日(水)10時00分~17時00分 ・17日(木)9時00分~17時00分 ・18日(金)9時00分~15時00分 会場:札幌市スポーツ交流施設 つどーむ(北海道札幌市) ぜひ御来場のほど宜しくお願いいたします。

2026年08月24日

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