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2024/10/15

ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
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ANNEAL_2022.pdf[2105434]

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テルモセラ・ジャパン_ANNEAL掲載ページ
開発製造元 Moorfield Nanotechnology社(英) http://moorfield.co.uk/anneal/
ANNEAL 装置紹介動画サイト
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ML-S125-iPROS_550-1.jpg

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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PyroNFC_iPROS.jpg

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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ExTemp_550.jpg

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

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Wi-Fi 6産業用無線LANアクセスポイント専用機及び Wi-Fi 6E対応産業用無線LANアダプタ新発売

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当社は、無線の利用効率を高め、低遅延・高密度な接続を実現する FL WLANシリーズのWi-Fi 6対応アクセスポイント専用機「FL WLAN 2330」、 「FL WLAN 2340」を2026年7月6日(月)より日本国内で正式発売します。 また2026年8月中旬より、Wi-Fi 6E対応の無線LANアダプタ 「FL WLAN 1122」を発売予定です。 今回の機種追加により、FL WLANシリーズは、より⾼速低遅延で セキュアな通信が要求されている産業⽤無線LAN での幅広い活⽤が ますます期待されます。

2026年07月06日

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神奈川県のキャバクラ店舗様へ業務用アロマディフューザーを導入!香り演出はマジェスタフレグランス。

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神奈川県内のキャバクラ店舗様に、業務用ディフューザーレンタルサービス「MajestaFragrance」を導入いただきました。 キャバクラ・ラウンジ・クラブ・バーなどのナイトビジネスでは、内装や照明だけでなく、「香り」による空間演出が店舗の印象やブランディングを大きく左右します。 ご来店されたお客様がドアを開けた瞬間に感じる上質な香りは、高級感や清潔感を演出し、店舗の第一印象をワンランクアップ。 記憶に残る空間づくりは、リピート率や顧客満足度の向上にもつながります。 今回導入いただいた店舗様では、高級ホテルをイメージした洗練された香りをセレクトいたしました。 マジェスタフレグランスは、無料お試し設置も可能です。 香り演出にご興味がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

2026年07月06日

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DXsite NETIS登録情報

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DXsite NETIS登録のお知らせ 平素は、弊社サービスをご愛顧いただき誠にありがとうございます。 この度、弊社サービス【DXツインビュー】がNETISへ新技術として登録されました。 技術名称:デジタルツイン施工管理システム【DXツインビュー】 NETIS登録番号:KK-260017-A これからも、確かな技術と新たな発想で お客様の期待にお応えできる企業を目指してまいります。 今後とも何卒よろしくお願い申し上げます。

2026年07月06日

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【特選商品】業務用エアコン~最新業務用エアコンが店舗経営に与えるメリット~|住の森

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業務用エアコンの更新というと「電気代を抑えるため」と考えられがちですが、最新機種への入れ替えは店舗やオフィスの運営にもさまざまなメリットをもたらします。 空調性能が向上することで、店内や事務所内の温度ムラを抑え、来店されるお客様や働くスタッフが快適に過ごせる環境づくりにつながります。 また、機器の経年劣化による突然の故障リスクを軽減できるため、営業への影響を最小限に抑えられる点も大きなメリットです。 なかでも三菱電機の「Mr.SLIM」は、省エネ性能はもちろん、多彩な室内機ラインアップを備え、店舗・事務所・飲食店など設置環境に合わせた柔軟なご提案が可能。 業務用エアコンは「冷暖房ができればよい」という設備ではなく、快適な空間づくりや店舗運営を支える重要な設備です。 更新をご検討の際は、ぜひ『住の森』までお気軽にご相談ください。

2026年07月06日

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ホトロンの非接触スイッチ

【自動ドア用センサー】ウイルス・細菌の感染リスク軽減!ホトロンの非接触スイッチシリーズ

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「ホトロンの非接触スイッチ」はドアノブやスイッチに直接触れずドアを開閉できるので衛生的! 手をかざすだけの「手かざしセンサー」、足を間口に入れるだけの「フットスイッチ」の2種類からお選びいただけます。 食品工場・外食施設や病院・介護施設など、衛生面に配慮したい場所のウイルスや細菌の感染リスクを軽減します。 【特長】 ○触れずにドアを開閉できるのでウイルス感染リスクを軽減 ○用途や使用場所によって選べる豊富なバリエーション ○食品工場や医療施設など衛生面に配慮したい場所に最適 ○スイッチ方式のため不要な検知を防ぐ 【ラインナップ】 ■手かざしセンサーシリーズ ○露出防水型 正面・下・左右向きタイプ「PF-R5」 ○露出型 正面向きタイプ「PF-R1」 ○埋込型 正面向きタイプ「PF-U2」 ○露出型 下向きワイドタイプ「PF-R4」 ■フットスイッチシリーズ ○間口が広い薄型 縦光線タイプ「PF-01S」 ○間口が広い薄型 横光線タイプ「PF-03S」 ○標準型 横光線タイプ「PF-05」 ◎詳しくはカタログをダウンロード、またはお問い合わせください。

2026年07月03日

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