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2024/10/15

ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応

テルモセラ・ジャパン株式会社 テルモセラ・ジャパン株式会社
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar) [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
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ANNEAL_2022.pdf[2105434]

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テルモセラ・ジャパン_ANNEAL掲載ページ
開発製造元 Moorfield Nanotechnology社(英) http://moorfield.co.uk/anneal/
ANNEAL 装置紹介動画サイト
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ML-S125-iPROS_550-1.jpg

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

  • 空気調和設備
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多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用) 4元マルチスパッタ(Φ6, 8inch用)

連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ(二重ジャケット水冷式)オプション -1) Max600℃(ランプ加熱) -2) Max1000℃(C/Cコンポジット) -3) Max1000℃(SICコーティング) ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(<30W) システム主制御:'IntelliDep'制御システム Windows PC(又はTP HMI)インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理

【概要】 標準付属の「Calexsoft」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセンサの測定パラメータ設定、測定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 USB出力 PCに接続しUSBバスパワーのみで動作。電源を必要としません。 さまざまな工業分野・研究機関実験ラボでの活用など、応用範囲が広がります。 【特徴】 ◎ USBデータロギング ◎ ワイドレンジ:-20℃〜+1000℃ ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、125msec高速応答 ◎ 放射率調整範囲:0.2〜1.0 ◎ 測定波長領域8〜14μm ◎ 小型Φ18mm x 45mm

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【PyroUSB】USB接続式 高精度赤外線温度センサー

USB接続式、付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理 幅広い波長領域オプションを用意。目的により3機種が選べます。

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20mA出力 2) USB出力(USBバスパワーで動作) 3) 4-20mA/USB出力の同時使用 の3通りの使い方が可能です。 【特徴】 ◎ USBデータロギング/4-20mAアナログ出力の同時使用可能 ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、200msec高速応答 ◉ PUA2:短波長2.0〜2.4μmもカバー、金属表面も測定可能 ◉ PUA5:ガラス表面測定用に好適 波長5μm ◉ PUA8:一般用途 紙・木・プラスチック・繊維など幅広い用途に 波長8-14um

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroCouple】 (パイロカップル)赤外線温度センサー

小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。

【概要】 英国カレックス・エレクトロニクス社製「PyroCouple(パイロ・カップル)」は、従来に無い小型軽量、低価格、高性能な赤外線温度センサーです。 「動く」「回転する」「触れる事ができない」測定対象物表面を非接触で測定し、高速・高再現性で温度制御ができます。 【特徴】 ◎ アンプ・センサ一体型 ◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション) ◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大きい値) ◎ 再現性:±0.5% or ±0.5℃(いずれか大きい値) ◎ 応答速度:240msec ◎ 保護等級:IP65

  • その他セキュリティーシステム

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【PyroMini】小型高性能赤外線温度センサー

高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能

【概要】 視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。 microSDカードで長期間のデータ保存・管理が可能です。 (*オプションでディスプレー無しの変換器もあります) φ18mm x 45mmの小型センサヘッドで、狭い場所での温度測定も可能、耐ノイズ性に優れたセンサ・ケーブルを採用しておりますので、ロボットアームなどの動く機器への組込みにも適します。 PM2.2モデルは、短波長2.2um波長を採用、高温(Max2000℃)、光沢性のある金属材料表面の測定などにも対応します。 【特徴】 ◎ ワイドレンジ:-20〜1000℃(PM), 100〜2000℃(PM2.2) ◎ 優れた基本性能:精度±1%, 再現性±0.5%、240msec高速応答 ◎ 測定波長領域:8〜14μm(PM), 2.0〜2.2μm(PM2.2) ◎ 小型Φ18mm x 45mm

  • 設備監理システム

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PyroNFC_iPROS.jpg

【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー

温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。

● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。 ● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1) ● AndroidのNFC通信を使い、センサ部にタッチするだけで読込み・書出しをします。 ● 超小型センサ(Φ31mm x t29mm)狭い場所でも温度測定が可能。 ● 高速応答125msec、高精度±1.5% ● 電圧出力(0-5V or 0-10V)、又はK熱電対出力

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ExTemp_550.jpg

【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー

TIIS(産業安全技術協会)検定取得 本質安全防爆型放射温度センサー 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能

ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。 (TIIS型式検定合格番号:第21097号)

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【PyroMini USB】USB接続式小型赤外線温度センサー

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【 第17回 高機能素材Week[東京]接着・接合EXPO展へ出展いたします 】

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9月に幕張メッセで開催される「第17回 高機能素材Week 内 第10回 接着・接合」に出展いたします。 機能性フィルムの成形加工技術や材料、表面処理・評価に関心のある幅広い分野の専門家が集まる本展示会で、当社はUV照射器の実機展示を中心にご紹介します。 フィルムメーカーの技術部門、エレクトロニクス、自動車、電池、建築・建材、食品・飲料など、機能性フィルムや表面処理に関わる技術者・研究者・購買担当者 の皆さまに特に有益な内容となっております。 商談や技術相談の場としてもご活用ください。 【出展内容】 当社ブースでは、LEDおよびエキシマ光源の紫外線(UV)照明器を幅広く展示します。 フィルムの表面処理、製造工程におけるUVの活用、各種評価用途など、目的や条件に応じた照射器をご紹介します。 また、実機を用いたデモンストレーションを実施し、実際の照射イメージをご確認いただきながら、用途に適したUV照射器をご提案します。 皆さまのご来場を心よりお待ちしております。 ご来場を予定されている方や、事前にご相談がある方は、お問い合わせフォームまたは弊社担当営業までお気軽にご連絡ください。

2026年08月26日

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施工講習がオンラインで24時間受講可能!ファイヤーレスジョイント「FJ」

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施工時に必要な修了証はデータ保存でOK!受講後も復習用動画で施工方法をいつでも再確認! ※ファイヤーレスジョイント「FJ」の施工には施工講習の受講が必要です※ インターネット環境があれば24時間どこでも受講可能! 動画で手軽に受講! 確認テストに合格すれば施工講習修了証がメールで届く!※1 施工講習修了証はPDFやスクリーンショットで保管すればOK!※2 ※1 施工講習修了証は1~5日で送付 ※2 既に発行したカード形式の修了証も変わらず使用可能 ★すでに講習を受講済みの皆様へ★ もう一度、施工方法を確認したい… 講習の内容を忘れてしまった… そんなときに再度ご確認いただける、復習用の施工講習動画を公開しています ■製品詳細 空調冷媒用火無し継手 ファイヤーレスジョイント「FJ」 ナットを差し込むだけの火無し工法!

2026年08月25日

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日本海洋学会 2026年度秋季大会に出展(9月8日~10日)

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日本海洋学会 2026年度秋季大会に出展いたします。 海洋環境モニタリングや水中用タイムラプスカメラの使用例、試料分析など、様々な海洋調査サービスの紹介を行います。 2028年度新卒採用および中途採用についてもお気軽に展示ブース係員にお声がけください。 皆様のお越しをお待ちしております。 開催日:2026年9月8日(火)~9月10日(木) 場 所:東京海洋大学 品川キャンパス(東京都港区)     ⽩鷹館2F多⽬的スペース1

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お客様インタビュー! 年2回の草刈り予算を「除草管理」へシフト。

お客様インタビュー! 年2回の草刈り予算を「除草管理」へシフト。エスプラネードライトフロアブルで道路維持管理の変革

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「インフラメンテナンス大賞部門のメンテナンス実施現場における工夫部門:優秀賞」である緑地管理用除草剤「エスプラネードライトフロアブル NETIS登録番号:KT-200114-A」を用いた技術が、2024年にNETISの活用促進技術に選ばれています。 この技術を長年利用し、道路の維持管理業に従事されている株式会社晃栄様にインタビューを実施しました。散布のポイント、作業や予算上のメリット、発注者への信頼について詳細に語っていただきましたので、リンクより是非ご覧ください。 https://www.jp.envu.com/forestry-ivm/interview/interview-01

2026年08月25日

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月額5,000円の最安値プランに集計機能が追加! 旅行業務管理システム SOL-T<ソルティ>

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これまで月額10,000円のマスタープランでしか利用できなかった集計機能が、月額5,000円のライトプラン等でも利用できるようになりました! プランは3種類で使用する機能に合わせてチョイスが可能! 今なら新規導入キャンペーンも実施しており、初期導入費用が無料です。 この機会に是非ご検討ください。

2026年08月25日

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