パーティクルカウンタ - 企業ランキング(全15社)
更新日： 集計期間:2026年04月01日〜2026年04月28日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ● 小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに ● 粒径区分（2段階）0.3 μm、0.5 μm以上 ● 筐体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上 ● 多点モニタリングシステムに対応（ RPモニタ EVO K0505 Ver. 3、多点監視ソフトウェア KF-03） | 電子デバイス製造工場 ディスプレイ製造工場 医薬品製造工場 | ||
| ●5段階の粒子を同時に測定 0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上 ●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min ●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能 ●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペース... | 半導体工場 ガス供給ライン ガス製造工場 | ||
| 光学方式：側方散乱方式 光源：半導体レーザ励起固体レーザ 粒径区分：0.03 μm～0.13 μm 定格流量 10 mL/min 計数効率 5 % ±1.5 % 最大粒子個数濃度 40 000個/mL（計数損失10 ％以内） | 最先端半導体製造工場の薬液供給プラントの送り Wet洗浄ラインの薬液管理 薬液製造メーカーの製造ライン・出荷検査ライン 等 | ||
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リオン株式会社
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- 代表製品
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気中パーティクルカウンター 小型 多点監視用 KA-02
- 概要
- ● 小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに ● 粒径区分（2段階）0.3 μm、0.5 μm以上 ● 筐体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上 ● 多点モニタリングシステムに対応（ RPモニタ EVO K0505 Ver. 3、多点監視ソフトウェア KF-03）
- 用途/実績例
- 電子デバイス製造工場 ディスプレイ製造工場 医薬品製造工場
パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93
- 概要
- ●5段階の粒子を同時に測定 0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上 ●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min ●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能 ●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペース...
- 用途/実績例
- 半導体工場 ガス供給ライン ガス製造工場
パーティクルカウンター30ナノ・HF対応 KS-19F リオン
- 概要
- 光学方式：側方散乱方式 光源：半導体レーザ励起固体レーザ 粒径区分：0.03 μm～0.13 μm 定格流量 10 mL/min 計数効率 5 % ±1.5 % 最大粒子個数濃度 40 000個/mL（計数損失10 ％以内）
- 用途/実績例
- 最先端半導体製造工場の薬液供給プラントの送り Wet洗浄ラインの薬液管理 薬液製造メーカーの製造ライン・出荷検査ライン 等
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リオン株式会社
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