独自のスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現したCRDS微量水分計
DewTracer mini CRDS-H2Oは、レーザー技術を用いたCRDS(Cavity Ring Down Spectroscopy)方式のガス中微量水分計です。 独自の光学設計とスペクトル解析技術により、これまでにない小型化を実現しました。 キャリアガスや雰囲気ガスなど高純度ガス中の微量水分(12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP))を高感度・高精度・高速測定することができます。
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基本情報
測定方式CRDS(Cavity Ring Down Spectroscopy) 測定範囲12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP) 測定精度±4% または ±12 ppbの大きい方 応答速度約60 s (50 ⇔ 1000 ppbv変化における90 %応答時間) サンプルガス種類 Air, N₂, O₂, Ar など ※その他のガスは要相談 温度 5 ~ 60 ℃ 流量 < 2.0 L/min. 圧力 86~106 kPaA(オプションで < 900 kPaA 対応可能) パージガス流量 < 5.0 L/min. ※パージ機能使用時 測定値 体積モル分率 [ppmv] 計測部ガス温度 [℃] 計測部ガス圧力 [PaA] 配管1/4 inch(フジキン製:UJR-RP) 供給電源付属ACアダプタ(100-240 V, 50 / 60 Hz, 1.4 A max) 消費電力約 10 W 寸法W 150 x H 165 x D 300 [mm] 重量約 5kg (ACアダプターを除く)
価格帯
納期
用途/実績例
●半導体用高純度ガス製造、検査、充填工程 → 工程の効率化 高額なガスの消費量軽減によるコストカット ●全固体電池の研究、製造工程 ●グローブボックス、ドライチャンバーの管理、制御 ○半導体の研究・開発・製造工程 ○医療用高純度ガスの研究・開発・製造工程 ○医薬品の研究・開発・製造工程 ○リチウムイオン電池(LiB)の研究・開発・製造工程 ○電気二重層キャパシタ(EDLC)の研究・開発・製造工程 ○有機ELの研究・開発・製造工程 ○フラットパネルディスプレイの研究・開発・製造工程 ○精密電子部品の防錆・結露防止 ○粉体製造工程の湿度管理 ○ハイバリアフィルムの検査・性能確認・性能評価 ○高純度シリコン等の半導体材料製造工程 など
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神栄テクノロジー株式会社は、空気質を「感じる、測る」スペシャリストとして、温度・湿度・露点を「測る」温湿度計測機器、空気質を「感じる」浮遊粒子・花粉・においなどの空気質センシング機器のそれぞれの分野で、先端的な製品をお客様に提案するセンシング機器メーカーです。