高差圧、大流量もビュルケルトのMFCにお任せください!
ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/min)も対応可能。エアーやその他様々なガスに対応!
70余年、電磁弁・調量弁を扱う老舗流体制御機器メーカーとして培ってきた技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減!】 ●大差圧(2.2MPa)に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量(2500lN/min (N2))に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。 ●小流量から大流量まで(例えば50~2500lN/min(N2))を一台で制御可能 ●アンモニア対応機種もラインナップ ●インライン式センサ搭載により低差圧でもスムーズな制御を実現 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 【簡単導入&直ぐにご使用可能です!】 ●校正済みで出荷されるため、設定不要&調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要(DC24Vにて起動)で簡単導入 【ビュルケルトならでは&IoT世代】 ●OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式に対応 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です!
- Company:ビュルケルトジャパン株式会社
- Price:応相談