半導体向け超純水製造装置のTOCモニタリング
超純水のTOCを測定するためには最適な測定技術を選ぶ必要があります
【低濃度監視のための測定技術】 低濃度のTOCを監視する測定技術として、ガス透過膜式導電率測定方式と直接導電率測定方式があります。 Sieversはモニタリングポイントに合わせた最適な測定技術を提供しています。 ・TOC計 Sievers M9e / M500e（ガス透過膜式導電率測定方式） 超純水製造装置内に存在する有機ハロゲン化合物やアミンによる誤検知や検知漏れを防止 ・TOC計 Sievers CheckPoint e（直接導電率測定方式） 一般的な監視ポイント向け 迅速な診断/トラブルシューティング
- 企業：セントラル科学株式会社
- 価格：応相談
