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ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト
ドライ真空ポンプの問題点を解決！ ジャケットタイプで大容量のルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適
独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
