装置用フィルターユニット - メーカー・企業と製品の一覧 | イプロス

【日立産機システム】製造装置用フィルタユニット

薄型・省エネで半導体製造装置に組み込みやすい、製造装置用フィルタユニット。

日立のファンフィルタユニットは高効率ファンを使用することにより薄型・省エネ・軽量化を実現しました。 半導体製造装置内のFFU上部に設置する電機品が増えても、風速などの仕様を変更せずに薄型化することができます。 装置用FFUの特長 ・半導体製造装置に組み込みやすいように、軽量薄型を実現しました。 ・ファン総合効率の高さから発熱が少なく温度上昇による影響が小さいモータ・ファンの高効率を実現しています。 ・ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮して機外静圧98Pa対応可能にしております。 ・低消費電力を実現し、省エネに貢献する設計になっています。 ・1台のファンで大風量を実現しているため、運用性に優れカスタマイズ品に柔軟に対応します。 ・外部風速制御にもフレキシブルに対応可能です。 ・全数検査しており、安心安全のサービス体制を整えていま その他詳細はお問い合わせください。