東北大学技術：λ型Ti3O5薄膜：T20-3141
比較的容易に作製可能、大面積(5×5mm以上)、安定して相転移を確認
λ-Ti3O5は可視光で光誘起相転移を示す初の酸化物材料であり、従来のカルコゲナイド材料に比較して環境負荷が小さいため、CD, DVD,BDなどの光記録材料への応用が期待される。しかし現状ではλ-Ti3O5が準安定相であるため、作製できる結晶の大きさがナノメートルオーダーに制限されている。 本発明は、TiO2を原料とし、パルスレーザー堆積(PLD)法において、実施可能な程度に容易な工夫を施すことで、デバイス応用が期待される大面積（5×5mm以上）のλ-Ti3O5薄膜を提供することを可能とする。 また従来法では基板上に直接λ-Ti3O5を作製することができず、中間にシード層が必要であったため、シード層の成分がλ-Ti3O5に拡散し、相転移を示さないことが問題であった。それに対して本発明は、シード層を介さず基板上に直接λ-Ti3O5薄膜を作製することができるため、安定して相転移を示すものである。
- 企業：株式会社株式会社東北テクノアーチ
- 価格：応相談
