光学干渉式リアルタイム膜厚モニター AvaThinfilm
卓上で簡単に膜厚測定できる、光学干渉式リアルタイム膜厚モニター。10nm〜50μm膜厚測定可能。分光器なので他の各種計測も可能。
小型で使いやすい分光器を利用して、卓上で簡単に薄膜の膜厚測定が可能なシステム。 分光器はファイバーを替えればレーザの計測、その他いろいろに利用できるのも魅力。 測定サンプルより反射される白色光の干渉パターンを利用して計測し、ソフトにn値とk値がデーターベース化されているものから計測する 構成 ●分光器: AvaSpec-ULS2048CL-EVO ●光源: AvaLight-DHc ●ソフトウエア: AvaSoft-thinfilm ●ファイバー: FCR-7UV200-M ●アクセサリー: Thinfilm Stage これらをPCから制御して1nm の分解能で10nm〜50μm までの膜厚を測定できます。
- 企業:フォトテクニカ株式会社
- 価格:応相談