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最大流量100slpm・公称流量20slpm！
『02Kシリーズ』は、室温型ガス精製器で、ガスに含まれる不純物を ほとんどの場合1ppb未満に除去するガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を 含めた様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■寿命 ・公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として約1年 (具体的な寿命についてはお問い合わせください。) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
様々なガスから不純物を除去！
『250シリーズ』は、最大流量10slpm・公称流量2.0slpmのガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます。 【特長】 ■用途に合わせて柔軟に対応できるように設計 ■流量を基準とした各サイズに加えて多種多様なバルブ形状 およびフィルター形状も取り揃え ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
用途に合わせて柔軟に対応できるように設計されています
『600シリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、アンモニア、 アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから不純物を 除去するように設計されたガス精製フィルターです。 寿命は公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として 約1年となっております。具体的な寿命についてはお問い合わせください。 【特長】 ■ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去 ■最大流量：30slpm ■公称流量：6slpm ■最大圧力：0.97MPa(200psig) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ガスに含まれる不純物がほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます！
『01Kシリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、 アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから 不純物を除去するように設計されたガス精製フィルターです。 用途に合わせて柔軟に対応が可能で、流量を基準とした各サイズに加えて 多種多様なバルブ形状およびフィルター形状も取り揃えています。 【仕様】 ■最大流量：50slpm(150psig時の理論値) with FP ■公称流量：10slpm ■材質：本体316L ステンレス製 ■フィルター ・内蔵型メタルフィルター 標準：0.1μm オプション：0.003μm ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
流量を基準とした各サイズに加えて、多種多様なバルブ形状・フィルター形状も取り揃えております
『125シリーズ』は、用途に合わせて柔軟に対応できるように設計された 室温型ガス精製器です。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去。ほとんどの場合、ガスに含まれる不純物は 1ppb未満にまで除去されます。 【特長】 ■寿命 ・公称流量で標準的な5N5(99.9995％)のガスを基準として約1年 ※具体的な寿命についてはお問い合わせください ■最大流量：5slpm ■公称流量：1slpm ■最大圧力：0.97MPa(200psig) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
