ハーシュプロセス向け多段ルーツポンプ「UltiDry」
【初出展】Pfeiffer社の最新ドライポンプをSEMICON JAPAN 2024でご紹介！
世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプをSEMICON JAPAN 2024で初出展します。 【特徴】 ○持続可能、堅牢 ○多用途 ○省エネルギー ◯高吸気流量に対応 ○効率的なドライルーツ式 ＊1：PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。 ■ Semicon Japan 2024概要 ■ 会期：2024年12月11日(水)～13日(金) 会場：東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3302 ご来場には事前登録が必要です。SEMICON JAPAN公式ウェブサイトよりご登録ください：https://www.semiconjapan.org/jp/about/pricing-and-register
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
