【日立産機システム】クリーンエア装置 クラスIII GB型
排気HEPA2重・高気密、封じ込め性を高めたクラスIIIキャビネット
特長 ・排気HEPAフィルタは2重 ・ハロゲンガス加圧法によるリークテスト。圧力735Paにおいて、リーク量10-6ml/s以下の気密性能を確保 ・内部圧力表示用の差圧計を標準装備
- Company:九州機電株式会社 福岡支店、大阪営業所、下関営業所
- Price:応相談
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排気HEPA2重・高気密、封じ込め性を高めたクラスIIIキャビネット
特長 ・排気HEPAフィルタは2重 ・ハロゲンガス加圧法によるリークテスト。圧力735Paにおいて、リーク量10-6ml/s以下の気密性能を確保 ・内部圧力表示用の差圧計を標準装備