技術資料「アクティブ除振は何故必要なのか」
アクティブ除振が必要な理由について、パッシブ除振台の限界・アクティブ除振台の原理、対応する弊社商品VAAVシリーズについて説明。
=掲載内容= 1.パッシブ除振台の限界 2.アクティブ除振台の原理 3.VAAVの特⻑ 4.VAAVの除振効果 (振動伝達率) 5.VAAVの制振効果 (ステージ移動荷重に対する定盤の応答) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社昭和サイエンス
- 価格:応相談
1~5 件を表示 / 全 5 件
アクティブ除振が必要な理由について、パッシブ除振台の限界・アクティブ除振台の原理、対応する弊社商品VAAVシリーズについて説明。
=掲載内容= 1.パッシブ除振台の限界 2.アクティブ除振台の原理 3.VAAVの特⻑ 4.VAAVの除振効果 (振動伝達率) 5.VAAVの制振効果 (ステージ移動荷重に対する定盤の応答) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
6自由度アクティブ制御で低周波から高周波まで除振!クリーンルーム対応!
『δTA』は、特許機器の長年にわたる振動制御技術の蓄積により開発された卓上型アクティブ除振台です。 コンパクトなボディにもかかわらず精密機器の性能の妨げとなる低域から高域周波数の振動を制御。優れた除振性能を実現しました。 性能が発揮しづらい、高重心な装置や軽量装置でも優れた除振性能が確保できます。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■無負荷から周波数全域で除振 ■高重心でも安定した除振効果 ■オートレベリング機構で最適な制御バランスを自動調整 ■クリーンルーム対応 ■見やすいVFDパネルを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全ての振動が気になるアプリケーションに!
Seismion社製のアクティブ除振台は、高感度のピエゾセンサー、非接触ボイスコイルアクチュエーターおよびノイズと歪みのないアナログ制御回路で設計されており、堅牢な電気的なフィードバック制御によって、特に低周波の振動に対し、優れた性能を発揮し、除振を中断、停止することなく、外乱、振動を処理します。8つのセンサーとメーカー独自のアクチュエーターのペアにより6DOF全てのモーションを制御します。半導体製造関連、顕微鏡、干渉計、3-Dプリンティング、他様々な計測用途、ラボでの実験用途等、様々な外乱、振動が問題となるアプリケーションに最適なアクティブ除振台です。
電源のみで使用可能!コストパフォーマンスモデルの除振台
卓上型アクティブ除振台ラインナップで、コストパフォーマンスに優れたSATシリーズ。 卓上型アクティブ除振台(防振台)SATシリーズは、サイズに合わせて2タイプをラインナップ。 エアー源不要!オートレベリングシステムが、水平レベルを保ちます。 正面パネルのふたつのボタンで簡単操作。 振動波形もLCDパネルで確認できます。 【特徴】 ○3軸6自由度アクティブ制御 ○オートレベリングシステムとロックシステムを搭載 ○高機能コントローラ内蔵 ○低周波の微振動に対する優れた除振機構 ○空気源は必要無し 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで!ナノ時代のファインテクノロジーを支える特許機器
当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のための テクニカルガイダンスです。 装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、 空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、 振動制御技術バリエーションなどを掲載。 パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで『精密振動系製品』を 多数紹介しています。 【掲載内容(抜粋)】 ■ナノ時代のファインテクノロジーを支える「精密振動系」 ■微振動環境をトータルサポートする特許機器 ■装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットαシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。