HD-1 X線分光器
特別な集光ジオメトリを使用しており、非常に低い強度のX 線放射を計測出来ます。
• 特別な集光ジオメトリによって、非常に高い検出効率を実現 • ご要望に応じて絶対強度校正を実施 • 小型 • 結晶部分は可動しない • 結晶の交換は不要 • EUV 用にスペクトル範囲を最適化可能 λ =6 ~ 7nm または 12 ~ 14nm
- Company:ケイエルブイ株式会社
- Price:応相談
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特別な集光ジオメトリを使用しており、非常に低い強度のX 線放射を計測出来ます。
• 特別な集光ジオメトリによって、非常に高い検出効率を実現 • ご要望に応じて絶対強度校正を実施 • 小型 • 結晶部分は可動しない • 結晶の交換は不要 • EUV 用にスペクトル範囲を最適化可能 λ =6 ~ 7nm または 12 ~ 14nm
特性X線を検出!微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析手法
『エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)』は、電子顕微鏡(SEMやTEM)に 取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し、 試料や異物の元素情報を得る手法です。 物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、 特性X線のエネルギーに相当する数の電子-正孔対が生成。 この数(電流)を測定することで特性X線のエネルギーを知ることができ、 エネルギーは元素により異なるため、物質の元素情報を調べることが可能です。 【EDSによる分析(一部)】 ■金属間化合物の定性分析(点分析) ・測定されたスペクトルの特性X線がどの元素の特性X線エネルギーに 対応するかを調べることで、元素の種類を調べることができる ■金属間化合物の半定量分析 ・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで、含有元素の 濃度を算出することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。