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任意に集光位置を設定できる可変パラボリックミラー
REVIBRO OPTICS社製MFCシリーズディフォーマブルMEMSミラーは、∞ <ｆ < 67mmの範囲で任意に集光位置を設定できる、可変パラボリックミラーです。反射部はφ2mmとφ4mmの二種類が選択でき、動作速度は200μsと高速です。従来のディフォーマブルミラーのように可動部にアクチェター等の物理的な駆動機構は用いておらず、同心円電極に電圧を加え発生する静電作用により、ミラー表面の金属薄膜が凹面鏡に変化します。小型・軽量・小消費電力・低発熱・無振動・無音等の特長から、御利用用途は多岐にわたります。
ドイツのフラウンホーファー研究所が開発したMEMSミラーのご紹介！
『MEMSミラー』は、オーテックスが取り扱うFRAUNHOFER社の製品です。 ドイツ、フラウンホーファー研究所では、現在までに 最大アパーチャサイズ20mmのミラーなど優れた特徴の数々を持つ MEMSミラーを開発してきました。 長い開発の歴史が培った現在までの技術の到着点です。 【特長】 ■小型ミラー ■寸法 5mm×7mm×3.5mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非線形運動をなくし、安定な制御を可能にするマイクロスキャナ用MEMSミラー
近年、LiDAR(Light Detection and Ranging) 等の光センサーシステムの小型化等のため、MEMS走査ミラーを用いたマイクロスキャナの開発が激化している。MEMSミラーデバイスの一種である全方位走査ミラーは、自動運転車に搭載するLiDAR用途への応用が期待され、研究が行われている。その実現形態の一つとしては、互いに直交する2つの軸を有する「ジンバル」の技術を利用してミラー部を回転させるものがある。しかしながら、互いに直交する2つの軸周りの回転が互いに干渉し合い、非線形の動きが発生するため、ミラー部の動きを安定して制御することができないという課題があった。本発明によって、ミラー部の動きを安定して制御することができる全方位走査ミラーを提供することが可能となった。本発明の全方位走査ミラーは、ミラー部と回転軸と支持部を有し、ミラー部の安定を制御するために慣性モーメントテンソルの垂直成分が一定範囲内にあることを特徴とする。
