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2タイプのパルスユニットを搭載した高周波・ハイパワーパルス電源
本製品は、パワー・周波数の異なるプラズマを生成する製品です。 2タイプのパルスユニットを搭載しており、制御ユニット、 パルスユニットB、DC電源ユニット、パルスユニットA、 ブレーカーユニット、抵抗ユニットの6つで構成されています。 【特長】 ■2タイプのパルスユニット搭載 ■パワー・周波数の異なるプラズマを生成 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
並列運転により最大60kW！出力500W～20kWと豊富な製品ラインアップ！
有限会社エイチ・エス・エレクトリックでは『DCスパッタリング電源』を 取り扱っております。 当社の従来品と比較して、約2/3の小型化を実現。 さらに、低アーク処理もオプションにて対応可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■出力500W～20kWの製品をラインアップ ■並列運転により最大60kW ■小型化を実現 ■低アーク処理に対応（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大電力（HiPIMS）タイプと高周波タイプをラインアップ！
有限会社エイチ・エス・エレクトリックでは『パルス電源』を 取り扱っております。 バイポーラ出力対応の「大電力（HiPIMS）タイプ」をはじめ、 「高周波タイプ」をご用意。 PDF資料でご紹介している仕様以外のカスタム対応も可能です。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ＜大電力（HiPIMS）タイプ＞ ■パルス出力：最大1MW ■バイポーラ出力対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
