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高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術をサポート！
当社は、半導体製造分野、有機EL製造分野及び先端研究分野において、 『API-MS』を用いた高純度ガス精製技術、微量ガス不純物測定技術を サポートしています。 配管工事の施工実績としては、カミオカンデの次世代検出器XMASS用の ガス供給設備やJAXAのはやぶさII帰還チェンバー用ガスサンプリング システムなどがあります。 また『API-MS』法が、高感度なフィルムのガス透過性評価装置として ISO登録されました。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ガス中の不純物を1サイクル1分以内で連続計測できる！可搬タイプの為、ユースポイントで計測が可能
『FLEX-MSシリーズ』は、大気圧イオン化質量分析方式(API方式)を 使用した高感度ガス分析装置です。 高純度ガス中の不純物(質量数3～400)をppbレベルで測定可能。 不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測できます。 尚、電源はAC100Vで動作します。 【特長】 ■測定対象ガスを直接導入できる ■不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測可能 ■登録した検量線により、濃度表示で時間変化計測ができる ■可搬タイプの為、ユースポイントで計測ができる ■電源はAC100Vで動作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
