エネルギー分散X線分光法(EDS)
特性X線を検出！微小領域や微小異物等の元素情報を得たいときに有効な分析手法
『エネルギー分散X線分光法(EDSまたはEDX)』は、電子顕微鏡(SEMやTEM)に 取り付けられた検出器で電子線照射により発生する特性X線を検出し、 試料や異物の元素情報を得る手法です。 物質に電子線を照射することにより発生する特性X線が検出器に入射すると、 特性X線のエネルギーに相当する数の電子-正孔対が生成。 この数(電流)を測定することで特性X線のエネルギーを知ることができ、 エネルギーは元素により異なるため、物質の元素情報を調べることが可能です。 【EDSによる分析(一部)】 ■金属間化合物の定性分析(点分析) ・測定されたスペクトルの特性X線がどの元素の特性X線エネルギーに 対応するかを調べることで、元素の種類を調べることができる ■金属間化合物の半定量分析 ・各特性X線の強度(カウント数)を調べることで、含有元素の 濃度を算出することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アイテス
- 価格：応相談
