非接触なのでクリーン！高効率＆省エネルギー「フラッシュランプ」
高効率／省エネルギー！基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能
大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能な 『フラッシュランプ』についてご紹介します。 当製品による光加熱は、物質の持つ「反射」、「透過」、「吸収」の 特性のうち、「吸収」の特性を利用して自己加熱させるものです。 また、非接触であるためクリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など 加熱雰囲気も問いません。 【特長】 ■大面積一括照射 ・大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能 ■高効率／省エネルギー ・当製品からの波⻑はSiの吸収特性に合致するため、効率よく昇温が可能 ■パルス制御による処理深さのコントロール ・基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ウシオ電機株式会社
- 価格：応相談
