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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して 極めて浅い部分（nmオーダー）を高温アニールし 不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適！さまざまなサイズ、特性に応じた設計
『直管型ハロゲンヒータランプQIR』は、線状加熱に加え、複数本並べて 使用することで、広い範囲を平面加熱することが可能です。 ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適。短尺から長尺まで、 さまざまなサイズ、特性に応じた設計ができます。 オーダーメイドシステムでは、最長2200mmまで任意の寸法、波長、設置条件、 特性に合わせて設計可能です。 【特長】 ■線状加熱に加え、複数本並べて使用することで、広い範囲を平面加熱できる ■ガラス、建材などの加熱装置用熱源としても好適 ■短尺から長尺まで、さまざまなサイズ、特性に応じた設計が可能 ■最長2200mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空対応などの加工が可能！円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます！
『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高効率／省エネルギー！基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能
大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能な 『フラッシュランプ』についてご紹介します。 当製品による光加熱は、物質の持つ「反射」、「透過」、「吸収」の 特性のうち、「吸収」の特性を利用して自己加熱させるものです。 また、非接触であるためクリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など 加熱雰囲気も問いません。 【特長】 ■大面積一括照射 ・大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能 ■高効率／省エネルギー ・当製品からの波⻑はSiの吸収特性に合致するため、効率よく昇温が可能 ■パルス制御による処理深さのコントロール ・基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハロゲンランプの寿命モデルとそれを押さえるための各種パラメーターの作用について解説！
ハロゲンランプが寿命となる主な原因は次のものである。 (1)黒化による照度低下 (2)フィラメント溶断 (3)サグによる コイルピッチ・ショート (4)シール部の故障 これらのうち、最初の3つの原因による寿命要因はハロゲンサイクルに 関係することが知られていたものの、その理解は大変貧しいものでした。 しかし、最近FourierTransform Infrared(FT-IR) Spectroscopyによって、 それらの寿命要因となるガスフェーズの測定が発表され、寿命となる 運動学的モデルがかなり明らかになってきました。 【掲載内容（一部）】 ■1．はじめに ■2．点灯中のCOとHBrガスの振る舞い ■3．ランプ点灯中の酸素放出と寿命 ■4．COレベルと寿命 ■5．HBrレベルと寿命 ※当論文の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
コの字、弓形など様々な形状、サイズの封体加工、フィラメント設計要望に対応！
当社で取り扱う『異形ハロゲンヒータランプ（コの字）』について ご紹介いたします。 目的の加熱プランに合わせて、コの字、弓形など、さまざまな形状、 サイズの封体加工、フィラメント設計要望に対応。 「QIR400V2500WU」と、「QIR400V3500WU」をご用意しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【QIR400V2500WU 仕様（抜粋）】 ■定格電圧：400V ■消費電力：2500W ■定格寿命：5000h ■色温度：2800K ■全長（接点間）：250mm ■管径：10Φmm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適！気密性を高めた二重管ヒーターランプ
『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
