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プリンテッド・エレクトロニクス領域、生体分子研究領域といった、様々なR&D用途にご利用いただける産業用インクジェット装置です。
従来の印刷用途のみならず、エレクトロニクス領域、バイオ領域といった、様々なR&D用途にご利用いただける産業用インクジェット装置です。 インクジェット向けのインク・塗料開発にご利用いただけます。 インク滴の飛行状態を観察する観察機能、描画機能を搭載しています。 印刷性能・環境性能・インク対応性などに強みを持つエプソンのインクジェットプリントヘッドを軸としたソリューションです。 描画ステージと描画データ作成機能を使って、その場で何度でも描画検証が可能で、試作サイクルを数多く回せます。
ガラス基板等へUVインプリントを自動で行う装置。
ガラス基板上にUV硬化樹脂を塗布し、その上にモールドを載せ高精度に加圧・速度コントロールされたローラにより、加圧、圧着され、UV照射により硬化パターニングさせる装置。 当社は、FA装置の開発・設計から組立調整、設置、納品後のメンテナンスや改善・改造提案まで一貫したサービスを展開しています！ 掲載装置は製作実績です。 こちらをご参考に、類似した装置または新規製作に対応致しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
nm～µmサイズが混在しパターンの粗密がある構造体を精密に製造可能!
■東北大学技術のご紹介 紫外線ナノインプリントリソグラフィ（UV-NIL）は、コストやスループットの観点から、工業的に受け入れられるナノ加工技術として注目されています。一方で、光硬化性樹脂の膜を基板上にスピンコートして使用するため、モールド（鋳型）のエッジ部で起こるバリの発生や、モールド表面のパターン密度の位置選択的な違いに起因する不均一な残膜が問題となっています。これらの問題により、後工程であるリソグラフィのプロセスが困難になってしまいます。 本発明の光ナノインプリント法は、マイクロスケールのレーザー加工孔版印刷とナノスケールの有型光造形から構成されています。1～300 Pa ･sの高粘度な光硬化性樹脂を、レーザー加工で作製した貫通孔を持つポリイミドシートを孔版に用いて孔版印刷により光硬化性樹脂の液滴を基板上に配置することができます。印刷された液滴の最小体積は5fL（10-15 L）です。この方法を用いて、線幅45 nm のレジストパターンとシリコンパターンの作製に成功しています（図）。
