ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
- 企業:ウシオ電機株式会社
- 価格:応相談