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1次研磨工程で不織布パッドを！不織布パッドについてコラムでご紹介
1次研磨工程などで使用される研磨パッドは発泡ポリウレタンのみからなる 通称ウレタンパッドが主流ですが、それとは別に 不織布系研磨パッド(以下、不織布パッド)を使用するケースがあります。 不織布と呼ばれる短繊維を樹脂で固めて作られた研磨布のことを指し、 一般的な色味としては白いものが多いかと思います。 不織布パッドは、樹脂オンリーではないため研磨レートはウレタンパッド よりも出にくいですが、面精度の良さと扱いやすさにおいて利点があります。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々な加工条件に対応！ストックリムーバル、ファイナルポリッシング用製品をご用意
『ベラトリックス(Bellatrix)』は、シリコンウェハ、半導体材料、 ハードディスク、ガラス等の超精密研磨加工向けの研磨パッドです。 お客様が追及される超精密仕上げ表面が得られるよう各種タイプ別の 豊富な製品をラインアップ。 硬質不織布に特殊硬化処理を施した「N0271」や軟質ベースに 軟質NAP層を形成し、微細な砥粒と相まって優れた仕上げ面を 作り上げる「N7512」がございます。 【ラインアップ】 ■N0271：ストックリムーバル用パッド ■K0013：ストックリムーバル用パッド ■N7512：ファイナルポリッシング用パッド ■K0034：ファイナルポリッシング用パッド ■NP385：ファイナルポリッシング用パッド ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
均一的な研磨が行え精度が良くなる効果も！通常の角型以外にU字型もご用意
スエードパッドへの溝加工、試してみませんか？ 通常スエードパッドは研磨の最終工程等で使用されていると思います。 ですので研磨面の仕上がりが重要になりますが、加工物によっては上側と下側の研磨面に違いが出てしまう場合があります。全てではありませんが下側で研磨液の液切れが発生している場合があります。下側のパッドに溝加工を行う事で研磨液をまんべんなく行き渡らせる事が出来ます。 また加工物が薄く軽い場合、加工物が上側に張り付いてしまう現象にも 上側のパッドに溝加工を行う事により軽減出来ます。 溝の形状も通常の角型以外にU字型をご用意しており、溝のエッジを 鈍角にする事で表面欠陥を少なくする効果、また研磨液の流量が増える為、均一的な研磨が行え精度が良くなる効果も期待出来ます。 【特長】 ■溝の形状：角型、U字型 ■表面欠陥を少なくする ■精度が良くなる ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
最終的にどうなっていくのか！精密研磨パッドの未来の可能性について考察
いつの時代も未来は読めないのが当たり前の中、少しだけでも 「精密研磨パッド」の未来を想像してみました。 そもそも「精密研磨パッド」は半導体製造や液晶製造などの高度な産業に 欠かせない重要な役割を果たしています。 この業界では常に高い精度と均一性が求められる為、 「精密研磨パッド」の進化が重要な課題となっています。 この世界を更に深堀し「精密研磨パッド」の未来の可能性について 考えてみます！ ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
研磨精度でお困りの方、高いレベルでのうねり・ロールオフなど驚くほどの研磨精度が得られます！
「BELLATRIX NP385」は、PETベースに超硬質NAP層を形成したパッドです。 開孔径を制御できる範囲の中で極限まで小さくすることによりうねりを改善。 ご希望サイズの加工、両面テープ加工、溝加工、砥粒孔加工などのご要望にも 対応いたします。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■N0178 ■NP515 ■NP178 ■NP385 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
基板の欠陥数低減の実現が可能！「表面欠陥数」の低減が確実に図れます
当製品は、株式会社FILWEL(旧カネボウ)製のファイナルポリッシング用 研磨パッドです。 微粒の酸化セリウム研磨材やコロイダルシリカとの組み合わせにより、 欠陥数の少ない高品質表面が得られます。 現在、シリーズ製品としては全部で4品種があり、「Asker-C硬度」は 「53」レベルへ。マスクの世界ではNGの「表面欠陥数」の低減が 確実に図れる製品です。 【ラインアップ】 ■N7512 ■N0012 ■N0092 ■N0192 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
パッドの張り替え時間短縮で生産効率UP！
研磨用パッドのサイズは、幅は1000～1400mm、長さは最大で2000mm前後の サイズで、それに両面テープを張り付た状態で出荷しております。 中型の研磨機はパッドにもよりますが1枚のパッドで貼る事ができ、大型の 研磨機で直径が1800mmを超えるサイズは、パッドの貼り合わせが必要。 また、上側は30個以上の数の砥粒孔の加工をしなければなりません。 当社では、画像のような加工も可能ですので是非ご相談ください。 【特長】 ■研磨用パッドのサイズは幅1000～1400mm、長さ最大で2000mm前後 ■両面テープを張り付た状態で出荷 ■中型の研磨機は1枚のパッドで貼る事が可能 ■大型の研磨機はパッドの貼り合わせが必要 ■上側は砥粒孔の加工が必要 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
目的や用途に応じて変える必要あり！
研磨中にパッドが剥がれたり、ズレたりすることによるクラッシュの発生は 基板の破損やパッドの交換だけではなく研磨機の清掃や破片の除去なども 必要となり、作業効率の大幅なダウンに繋がります。 この問題は、粘着力の強いテープを使用する事で解消されますが、 デメリットとしてパッドを外す時には苦労することにもなりますので、 お客様の目的や用途、何を優先するかによって両面テープの選択肢も変わってきます。 FILWEL製では、主に3メーカーのテープを用意しております。 お客様の用途に応じて3種以外でも準備可能ですのでご相談ください。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
【研磨パッド(ウレタン) 】特殊な硬質ウレタン樹脂発泡体で卓越したポリシング性能と耐久性を実現！
当社で取り扱う「研磨パッド」についてご紹介いたします。 主に、光学ガラス、液晶用ガラスはじめガラス製品の精密研磨や、 ステンレスなどの金属、プラスチックス、石英などの表面研磨、 シリコン、ゲルマニウムなどの半導体ウエハーの鏡面研磨といった 用途(業界)で採用。 また、テープ加工、孔開け加工、溝加工にも対応しています。 【特長】 ■優れた耐久性による作業時間の短縮とコストダウンが期待できる ■徹底した品質管理により安定した一定の品質で良品率の向上につながる ■優れたポリシング作用で高速、高荷重研磨が可能 ※詳しくは、下記までお気軽にお問い合わせ下さい。 【連絡先】 八千代マイクロサイエンス株式会社 研削研磨事業部 営業部 TEL：03-3256-6011(東京) / 06-6948-6671(大阪) E-mail：contact@ymi.co.jp
製品の効果を最大限にアップさせる為に
研磨パッドの「溝加工(ピッチ)」を入れることで得られる効果は 以下の事が考えられます。 ・研磨スラリーを研磨機の内周部まで行き届かせ、均一な研磨加工を実現させる。 ・研磨レートの向上に繋がる。 ・研磨切粉(スラッジ等)の排出がスムーズになる。 ・上下定盤でピッチ幅を変える事により基板・ワークの吸い付き現象を低減させる。 溝仕様については、溝幅、ピッチ幅、深さ、型(凹型、U型)等ご希望により 指定できます。 ※溝は「格子状溝」が基本となりますが、その他エンボス加工等はご相談下さい。 また、「砥粒孔の穴開け」もご希望により可能です。現場での面倒な作業や 安全管理にも繋がります。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
【エポキシパッド】多孔質でしっかり砥粒保持！研磨効率が高いため研磨時間の短縮につながりトータルコストが下がります
当社で取り扱う、「エポキシパッド」をご紹介いたします。 光学ガラス、液晶用ガラスはじめガラス製品の精密研磨や、 ステンレスなどの金属・プラスチックス・石英などの表面研磨、 シリコン・ゲルマニウムなどの半導体ウエハーの鏡面研磨に対応。 また、優れたパッド濡れ性でスラリーを保持し研磨効率が高くなり、 徹底した品質管理により安定した一定の品質で良品率の向上につながります。 【特長】 ■標準寸法 ・エポキシパッド(mm)：□460×460、Φ900、Φ1200 ・エポキシウレタンパッド(mm)：□460×460、Φ900 ■厚さ：標準厚さ(mm)：0.5、0.8、1.25、1.5 ■2次加工：テープ加工、溝加工にも対応 ※詳しくは、下記までお気軽にお問い合わせ下さい。 【連絡先】 八千代マイクロサイエンス株式会社 研削研磨事業部 営業部 TEL：03-3256-6011(東京) / 06-6948-6671(大阪) E-mail：contact@ymi.co.jp
半導体関連装置向けのセラミック部品の高品質化に役立つ研磨パッドです！
当社が提案します研磨パッドは、セラミックスやガラス(HDD用、液晶用、 光学レンズ用)をはじめ化合物やシリコンなど様々な材料の研磨パッドとして 採用されており、お客様のご要望にお応えしております。 セラミックス研磨用にご提案の不織布パッドは厳格な品質管理プロセスにより しっかり管理された工場で生産されているため品質は安定しています。 不織布ベースは3種類(軟質、中質、硬質)と各種タイプ取り揃えております。 はじめて不織布をご検討のお客様には中質タイプでのご検討をお勧めいたします。 【不織布タイプラインアップ】 ■軟質 ■中質 ■硬質 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
パッドの表面管理で品質UP！
当社で扱っておりますパッド含め、仕上げ研磨で使用されるスエードパッド の表面は手でなでると本当に滑らかに感じられると思います。 基本的に精密研磨用のスエードパッドはバッグ・靴・車のシート等に 使用さている合成皮革を元に開発されてきました。 製造方法は合成皮革の表面を削ってスエード調にしたものですが、 表面を拡大すると数十ミクロンの小さな穴が無数に開いており それが滑らかに感じるのです。 【特長】 ■合成皮革の表面を削ってスエード調にしたもの ■表面を拡大すると数十ミクロンの小さな穴が無数に開いている ■パッドの構造上穴の形状が三角錐形 ■表面の切削量が少なければ小さな穴が、多ければ大きな穴が開く ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
研磨に関するお困りごとがございましたら、ぜひ当社にご相談ください
『ベラトリックス』は、超精密研磨加工向けの研磨パッド(PAD)です。 当社ではお客様の多様なニーズに応えるため、20種類以上のスエード パッドをご用意しており、溝加工などの追加オプションもご提供可能。 研磨に関するお困りごとがございましたら、ぜひ当社にご相談ください。 お客様の要求に応じた好適なソリューションをご提案いたします。 【特長】 ■超精密研磨加工向け ■20種類以上のスエードパッドをラインアップ ■溝加工などの追加オプションも提供 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
