東北大学技術：多用途MEMSジャイロセンサ：T15-153他
新構造により、高精度・多用途を実現
本発明は、ジャイロセンサのうち、FMジャイロセンサに関する。 従来のFMジャイロセンサは、温度変化や部材の製造誤差によって、測定精度が下がるという課題があった。これは、センサに用いる振動子を２つ用いるために、それら振動子間に生じる温度変化の差や、製造誤差によって、振動子の特性を同一に保てないことに起因していた。 これに対して本発明では、振動子を単一とし、異なるモードの振動を印加しすることで、上記の課題を解決する。 本発明を用いるジャイロセンサは、上記の通り測定精度が高いのみなら ず、原理上、磁気センサや圧力センサとしても機能することができ、産業上の優位性をもつと考えれらる。 上記ジャイロセンサ、磁気センサ、圧力センサ各種で特許取得・出願している。
- 企業：株式会社東北テクノアーチ
- 価格：応相談
