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調節計を搭載しているので、センサとの接続により容易で安価なローカル制御を実現
比例電磁弁（Solenoid Control Valve）は、任意の開度設定により、多段階制御が可能なので。装置のグレードアップ、小型化を同時に実現します。当社比例電磁弁は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容易に圧力ループ、流量ループなどのローカル制御が可能となります。特に、要素開発段階では前述の簡易ループにより、比例電磁弁の有用性や動作について基盤の作成などを行わずに確認していただくことが可能です。
従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応！
●CANOpenに対応したMFC ●高速応答（最速0.3秒以内、一部機種で0.5秒以内） ●10[ml/min]～1500[l/min]の幅広い流量レンジに対応する豊富なラインナップ ●保護等級IP65
ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。0.3秒以内の高速応答が可能です。大流量も制御可能！
産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でＯＫ ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
0.3秒以内の高速応答！設定流量の変更が多い装置に！圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)
産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応 → ～1.0 MPa ●最低必要差圧 → 10kPaでＯＫ ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でＯＫ ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
