【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索
最適条件の探索に!多次元表示チャートの活用事例をご紹介!
詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小)となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確となり、その後「modeFRONTIER」の多次元表示チャートから 選好解を抽出することに成功しました。 【事例】 ■使用ソフトウェア:modeFRONTIER、CHEMKIN ■目的:エッチングプロセス最適条件の探索 ■効果:多次元表示チャートを用いて選好解どうしを比較 ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社IDAJ
- 価格:応相談