更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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高い精度で製品の挙動を予測する強連成マルチフィジックス解析ソフトウェア
『OOFELIE』は、FEM/BEMモデルにて、熱・構造・音響・電場・磁場・流体などの 物理現象を解析するOpen Engineering社製の強連成マルチフィジックス解析ソフトウェアです。 外部デバイスとの相互作用も考慮した上で、高い精度で製品の挙動を予測します。 また、光学設計ソフトZemaxと自動的にデータ交換を行い、ヒューマンエラーや データの取り間違えのリスクを減らし設計効率を向上させます。 【特長】 ■単一ソルバの強連成解析で高速・高精度 ■FEM／BEM のカップリングに対応 ■EDAと連携、モデル縮約機能を搭載 ■パラメトリックモデリングによる設計 ■設計プロセスのカスタマイズに対応 ■流体は内部 FEM ソルバ又は外部ソルバで対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
有限要素法による熱伝導解析ソフトウェア(シミュレータ)
有限要素法による2次元・軸対称及び 3次元熱伝導解析シミュレータ ■□■特徴■□■ ■ PHOTOシリーズ専用プリ・ポストと一体型となっているため、データ作成から解析、結果処理が一連の操作として行えます。 ■他のPHOTOシリーズモジュールと一体化しているので、たとえば、電磁場解析によって求まった発熱から、温度分布を求めるような連成解析が簡単に出来ます。 ■ICCG 法を使っていますので計算が速く、パソコンでの解析が可能です。 ■有限要素法を使っているので解が安定し、初心者でも安心して使えます。 ■応力解析、及び流体解析との連成計算が容易です。
鉄コアと1次・2次巻線を有限要素分割！1A、1000Hzの節点電流を与えました
1次巻線、2次巻線と磁気回路(鉄コア)で構成される変圧器を励磁したときの 磁束密度分布および自己インダクタンス、相互インダクタンスを周波数応答 解析した事例をご紹介します。 ソフトウェア「PHOTO-EDDYTMjω」を使用。1次・2次巻線に1A、周波数1000Hzの 電流を流します。 また節点数は18,118、要素数は13,648で、形状は3次元のフルモデルとしました。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-EDDYTMjω ■解析条件 ・鉄コアと1次・2次巻線のモデルを使用 ・1次巻線、2次巻線に1A、1000Hzの節点電流を与えた ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電磁気現象、Maxwell方程式、有限要素法から解析例まで！イラストや図を用いて解説
当資料では、電磁気現象、Maxwell方程式、有限要素法から解析例まで、 電磁気シミュレーションの世界をご紹介しています。 μ-EXCELの解析ノウハウ動画サイトである「解析ノウハウ.com」から抜粋。 イラストやグラフを用いてわかりやすく解説しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■電磁場の現象 ■Maxwell方程式 ■ベクトル演算 ■数値計算 ■有限要素法 ■モータ解析 ■その他の解析 【解析ノウハウ.com (https://mu-excel.com)を開設しました！】 ・「ホーム」メニューで、ノウハウ集の一覧を ・「詳細を見る」ボタンで、ノウハウポイントと動画を ・「カテゴリー」メニューで、ジャンルとシリーズから絞込み ・「キーワードで検索」で関連動画をさらに絞込み ・「ブログ」で、更新動画を都度ご紹介します ★下記よりサンプルソフトをダウンロード頂けます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
誘導加熱の連成解析を行いました。
誘導加熱の解析は、切り欠きを有する金属管の周りに、電力値が500kWの周波数800kHzの交流電流が通電されたコイルがあるときの金属管の渦電流及び温度場解析（誘導加熱解析）の例を示します。解析モデルは、解析対象と、その周りの空気部分を含むよう作成されています。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
使用ソフトウェアは「PHOTO-EDDY」！Jcが磁束密度に依存するようなKimモデルも解析可能
超伝導体を表現するモデルとしては、臨界状態モデル、Kimモデルなどが 挙げられます。 臨界状態モデルは渦糸に働くローレンツ力と超伝導体内部の不純物などによって 生じるピン止め力が釣り合っているとした物理モデルです。 「PHOTO-EDDY」では、構成方程式をユーザー側で指定することができ、 一定のJcだけでなく、Jcが磁束密度に依存するようなKimモデルも解析可能。 どのような数式を使用するかどうかはユーザー側の判断になります。 計算の収束性に配慮が必要ですが、自由度が高い入力方法をご利用頂けます。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア：PHOTO-EDDY ■解析結果 ・超伝導体は臨界状態モデルとし、臨界電流密度Jcは1.0×10^9[A/m2]とした ・空芯のときに、コイル中心において、磁束密度が最大5[T]となるように 入力電流を調整 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
面倒な巻線の設定が不要！計算には有限要素法を使用しているため高精度な解析が可能！
『Simcenter MotorSolve』は、MAGNETの開発元Siemens社で開発された 各種モータ専用の解析ソフトです。 モータ形状をテンプレート及びDXFデータのインポートによって作成。 熱解析オプション（3次元）ではハウジング形状までも含めた高度な 熱解析が簡単に実施できます。 各種発熱熱や表面力密度の結果（3次元）を.UNV形式で出力可能なため、 振動解析や熱流体解析との連携が容易です。 【特長】 ■解析未経験者でも安心の自動メッシュ作成 ■自動巻線レイアウト機能により、面倒な巻線の設定が不要 ■計算には有限要素法を使用しているため高精度な解析が可能 ■モータ形状をテンプレート及びDXFデータのインポートによって作成 ■サイジング機能により、要求仕様に対する適正な形状の提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
本格的な電磁場解析も安価に実現！必要な機能を選んでカスタマイズも可能
「PHOTOシリーズ」は高周波電磁波から低周波電場・磁場といった広範囲な対象分野毎に、解析テーマに応じて最も適したシミュレーション手法を用いた解析ソルバーをご用意しています。 一つの解析ソルバーで全ての現象を取り扱う他社製パッケージソフトとは異なり、目的に最適な解析ソルバーを用いますから、解析精度が高く、ニーズにもきめ細かく対応できます。 また問題に適した必要なモジュールだけを選択できるため、導入コストも経済的に抑えることができます。 モジュールの追加による機能拡張も簡単に行なうことができますし、組み合わせることによって、渦電流による発熱、電磁力による応力や変形等の連成解析を扱うことが可能です。 各製品は全て３次元問題に対応しており、過渡応答解析モジュールについては非線形材料の取り扱いが可能です。
3次元電磁波周波数応答解析ソフト（高周波） PHOTO-WAVEjω
有限要素法による3次元高周波電磁場解析ソフト （高周波電磁界シミュレータ）で、周波数応答解析を行うモジュール ■□■特徴■□■ ■PHOTOシリーズ専用プリ・ポストと一体型となっているため、 データ作成から解析、そして結果処理が一連の操作として行える ■他のPHOTOシリーズモジュールと一体化しているので、たとえば、 電磁場解析（電磁界解析）によって求まった発熱から、温度分布を 求めるような連成解析が簡単にできる ■エッジエレメント法及び ICCG 法の併用により画期的な高速化が 達成されています。従って、3次元電磁波解析（高周波解析）が パソコンで可能となる ■有限要素法を使っているので、閉領域とくに多媒質を 扱う解析に適している ■熱伝導解析ソフト PHOTO-THERMO と連成すれば、 誘電体内の発熱から温度分布の計算をすることが可能
大規模音響空間、高周波領域解析を実現するアプリケーションの動作推奨モデル
「Actran」は、有限要素法ベースの音響解析ソフトウェアです。 モデル化に伴う構造FEMモデルと共通化した要素タイプなどを サポートしており、大規模音響空間、高周波領域解析を実現。 当社では、「Actran」の動作推奨モデルである『Be-Clia Type-S11IS57』を 取り扱っていますので、ぜひご利用ください。 【特長】 ■HEXAGON 協業モデル ＜Actran＞ ■有限要素と無限要素(またはPML)モデルがベース ■構造連成、流体連成、機構連成、磁場連成の音響解析が可能 ■豊富な要素ライブラリー ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
陰解法と陽解法を統合。熱、電気、磁場、流体など多岐に渡る現象解明に。
非線形構造解析では、材料・幾何学・境界条件の三つの非線形性がキーとなります。近年の設計現場では、複雑な材料モデルを使用したアセンブリ部品での接触を考慮した製品設計を余儀なくされています。Abaqusは、古典的な金属材料の構成則はもちろんのこと、速度依存による破壊モデルやゴム・樹脂などの高分子材料のモデル化を的確に行えます。また、革新的なサーフェス/サーフェスの接触の定式化は、他の構造解析ツールに比べて、よりロバストな収束性と高い解析精度を実現します。一般接触機能では、ユーザーによる設定がほとんど必要ないため、自動車、航空機、家電製品、携帯電子機器などで見られる複雑なアセンブリで接触を定義する時間を大幅に短縮します。
遮断器やリレーのアークプラズマ解析に。プラズマの専門家が開発。電気自動車の開発活発化に伴い引き合いが増加中
アーク放電専用解析ソフト『VizSpark』は、アークプラズマの 特性だけではなく、固体との熱のやり取り・磁場・流れとの連成を 考慮に入れているため、幅広い目的に活用することが可能です。 アークプラズマにより発生する熱、発熱に伴う圧力・温度上昇のほか、 アークプラズマのエネルギー効率などを解析できます。 【特長】 ■プラズマシミュレーションの専門家が設立した 米国Esgee Technologies社の技術者によって開発 ■遮断器やリレーの開発において、アークの形成を正確に確認可能 ■過電流による不具合の予測が可能 ■アークによる表面温度を予測することで、 端子と接触子の摩耗や端子の溶融の予測が可能 ■電気自動車や家電などの信頼性・安全性向上に貢献 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
PROパッケージでは上限無しのメモリー使用が可能で、64ビットマルチコアプロセッサーでのパラレルプロセスに対応！
「有限要素法数値解析ソフトウェア」は、研究開発の現場で利用されている電磁界・荷電粒子、放射線、熱伝導解析用の有限要素法数値シミュレーションソフトウェアです。 日本国内でも国立研究所・国立大学・大手メーカーなどを始めとして100以上の研究開発の現場で使われております。 【特長】 ■比類ない高性能を発揮するため、FORTRAN95で100% がコーディングされており、2次元計算は数秒で、3次元計算は数分で終わります。 ■メッシュファイル、出力ファイルはフォーマットが公開されており、出力形式をテキスト形式として保存することも可能 ■用途・機能に応じて様々な解析ソフトウェアパッケージがあり、幅広い分野での応用が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
病院やクリニックのMRIルームの設計に。簡単な操作で5ガウスラインを3次元出力
『μ-MRI』は、3次元電磁場解析の知識がない方でも簡単に 病院やクリニックのMRIシールドルームの設計が行えるソフトです。 Philips・GE・Siemens・Canon製の1.5/3.0Tの中からMRIを選択し、 シールドルーム設計平面図の区画寸法とシールド板枚数などを 入力するだけで、有限要素法を用いた厳密な計算を実行できます。 1～5ガウスラインを3次元表示し、自由な角度から漏洩磁場を確認・調整可能。 医療建築やシールドルームの設計・施工会社で利用されています。 【特長】 ■部屋の輪郭、シールド材料・枚数、天井、床、窓、ドア条件設定 ■計算実行ボタンのみで、モデル構築、計算実行、結果表示へ ■買取・レンタル・受託解析の対応が可能 さらに ・コンサルティング、解析、開発もご提供いたします ※定期紹介セミナー開催のほか、訪問デモや無償ベンチマークトライも実施中。 詳細は「お問い合わせフォーム」よりお気軽にご連絡ください。 ※３次元MRIシールドルーム設計ソフト『μ-MRI』のご紹介動画 https://youtu.be/8gkPwg5MPZM
様々な 産業製品向けの磁気センサに対応できる高精度のプラスチック / ゴムマグネット 部品を製造！
今日、磁気センサは多くの産業製品で採用されています。 特に自動車には安全性向上や低燃費化、エコの観点から多くの磁気センサが搭載されております。 ご提示頂いた情報を基に弊社の設計フローに沿って検討、製品仕様をご提案し、安定した量産をお約束いたします。複雑形状、1/1000mmの寸法公差、金属/樹脂部材のインサート成形等も対応検討いたします。 まずは、ご相談下さい！ 【開発の流れ】 ■要望・仕様 ■技術検討・形状提案 ■試作評価 ■量産試作 ■試作 ※詳しくは資料をダウンロードもしくはお問合せください。
VIPERは磁気を利用した3次元磁気式位置計測システムです。
VIPERは磁気を利用した3次元磁気式位置計測システムです。 システムは磁場発生源となるソース（TX-2）、センサー（RX-2）、さらにこれらを制御するコントロールユニット（SEU）から構成され、 6自由度の検出が可能です。 磁気式システムは他システム（光学式、音波式、カメラ式）とは異なり、 物理的な障害物（死角）の影響を受ける事無く計測データをリアルタイムに提供致します。 小型かつ軽量ボディに加え、POLHEMUS社製品史上最高の精度、高速度カメラ並みの驚異的なサンプリングレートを低価格で実現しました。 更に磁気式センサーのウイークポイントであった計測環境周辺に金属がある場合の磁場歪みの緩和機能が新たに付加されました。 VIPERはこれまで磁気センサーでは採用が難しかった新たな幅広い分野での運用を提案いたします。
物質中の電子、光子、陽電子の粒子輸送の2次元および3次元モンテカルロシミュレーション
『GamBet』は、物質中の粒子輸送の2次元及び3次元モンテカルロシミュレーションの 革新的なソフトウェアです。 当製品は単独で使用することもでき、また荷電粒子解析コードTrakおよびOmniTrakの 拡張として使用することもできます。 X線発生用ターゲット、電子ビームによる加熱、X線イメージング、陽電子物理、 放射線治療の研究、放射線防護などの計算に応用できます。 【特長】 ■傾斜部や曲線部を持つ構造も共形メッシュによって高精度に定義できる ■新しいPenelopeパッケージによって材質の相互作用を計算 ■すぐに実行可能な例題と詳しい取り扱い説明書 ■短時間での計算を可能にする最適化されたサーチルーチン ■粒子の分割/減少および相互作用促進機能を含む、先進の変動低減機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例
CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解析」3Dシミュレーション事例
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。
Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 information@wavefront.co.jp
粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、マグネトロンスパッタ装置内の原子の挙動をシミュレーション
Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 information@wavefront.co.jp
『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 sales@wavefront.co.jp
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンスパッタリング解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CCP）の３次元解析 "シミュレーション事例
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」シミュレーション事例
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解析)」シミュレーション事例
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動 など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
