ドライ真空ポンプ - 企業ランキング(全7社)

更新日: 集計期間:2025年07月16日〜2025年08月12日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【ラインアップ】 MDP-Vシリーズ(到達圧力:0.5~2Pa、排気速度:5500~22000L/min) MDPシリーズ(到達圧力:0.7~100Pa、排気速度:1100~35000L/min) SDV-Rシリーズ(到達圧力:10~30Pa、排気速度:850~2800L/min) SDVシリーズ(到達圧力:20~300Pa、排気速度:500~11500L/min) SLTシリーズ(到達圧力:0.7~1.3Pa、排気速度:1100~3000L/min) TDシリーズ(到達圧力:0.7~4Pa、排気速度:650~3000L/min) BEHシリーズ(到達圧力:0.08~0.13Pa、排気速度:4500~180000L/min) 真空成形、真空包装、真空含浸、真空運搬、多目的真空源 真空乾燥、真空凍結乾燥、真空蒸留、真空脱泡、真空滅菌 ガス回収、PSA装置、真空洗浄、真空熱処理炉、薄膜形成装置 エッチング装置、アッシング装置、コーターデベロッパー、リチウムイオン電池
【ラインアップ】 ■MDP-535AT ■MDP-680AT
【特徴】 ○7つの高品位テクノロジーを継承し更に使いやすく ○ハードプロセスでの安定稼働を実現 ○排気速度(l/min):7000 to 30000 ○到達圧力(Pa):to 0.08 半導体製造プロセス FPD製造プロセス 太陽電池製造プロセス
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  1. 代表製品
    スクリュー式ドライ真空ポンプスクリュー式ドライ真空ポンプ
    概要
    【ラインアップ】 MDP-Vシリーズ(到達圧力:0.5~2Pa、排気速度:5500~22000L/min) MDPシリーズ(到達圧力:0.7~100Pa、排気速度:1100~35000L/min) SDV-Rシリーズ(到達圧力:10~30Pa、排気速度:850~2800L/min) SDVシリーズ(到達圧力:20~300Pa、排気速度:500~11500L/min) SLTシリーズ(到達圧力:0.7~1.3Pa、排気速度:1100~3000L/min) TDシリーズ(到達圧力:0.7~4Pa、排気速度:650~3000L/min) BEHシリーズ(到達圧力:0.08~0.13Pa、排気速度:4500~180000L/min)
    用途/実績例
    真空成形、真空包装、真空含浸、真空運搬、多目的真空源 真空乾燥、真空凍結乾燥、真空蒸留、真空脱泡、真空滅菌 ガス回収、PSA装置、真空洗浄、真空熱処理炉、薄膜形成装置 エッチング装置、アッシング装置、コーターデベロッパー、リチウムイオン電池
    メンテナンスに特化したスクリュー式ドライ真空ポンプメンテナンスに特化したスクリュー式ドライ真空ポンプ
    概要
    【ラインアップ】 ■MDP-535AT ■MDP-680AT
    用途/実績例
    スクリュー式ドライ真空ポンプ BEHシリーズスクリュー式ドライ真空ポンプ BEHシリーズ
    概要
    【特徴】 ○7つの高品位テクノロジーを継承し更に使いやすく ○ハードプロセスでの安定稼働を実現 ○排気速度(l/min):7000 to 30000 ○到達圧力(Pa):to 0.08
    用途/実績例
    半導体製造プロセス FPD製造プロセス 太陽電池製造プロセス