遠心ポンプ - 企業ランキング(全8社)

更新日: 集計期間:2025年07月23日〜2025年08月19日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10~50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受・バルブ・軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高められる ○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少 ○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ ○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造 ○脈動がない、スムーズな定常流が得られる ○省スペース化を実現 【用途・実用例】 ○半導体ウェットプロセス ○フリップチップ・先端パッケージング ○太陽電池製造 ○FPD製造 ○磁気ディスク基板製造 ○印刷用インク ○薬品製造 など
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  1. 代表製品
    磁気浮上型ベアリングレス BPS-4000磁気浮上型ベアリングレス BPS-4000
    概要
    【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10~50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受・バルブ・軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高められる ○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少 ○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ ○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造 ○脈動がない、スムーズな定常流が得られる ○省スペース化を実現
    用途/実績例
    【用途・実用例】 ○半導体ウェットプロセス ○フリップチップ・先端パッケージング ○太陽電池製造 ○FPD製造 ○磁気ディスク基板製造 ○印刷用インク ○薬品製造 など