貼合装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2025年09月03日〜2025年09月30日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【特徴】 ○ウエーハの反りを矯正し、且つワックス層の厚みを極限まで抑えた接着により、極薄ウエーハの加工(作成)・ウエーハの厚みの高精度管理が可能とする接着装置 ○試料の加圧に空気圧力(ダイアフラム方式)を採用することにより、試料を均一に加圧でき、支持基板 にムラなくウエーハの... | |||
![]() 真空貼り合せ装置 VSP300
応相談 |
【特徴】 ○サファイア・GaAsに代表される様なウエハの高精度研磨を実現 ○槽内を減圧とし、ワックス内に含まれる気泡等の影響を極力迎え、均一な膜厚のワックスにより固定 ○加圧はエアシリンダとフレキシブル加圧プレートを用い、ウエハの傾きを補正して接着 | ||
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- 代表製品
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真空貼り合せ装置(ボンディング装置)VAP250
- 概要
- 【特徴】 ○ウエーハの反りを矯正し、且つワックス層の厚みを極限まで抑えた接着により、極薄ウエーハの加工(作成)・ウエーハの厚みの高精度管理が可能とする接着装置 ○試料の加圧に空気圧力(ダイアフラム方式)を採用することにより、試料を均一に加圧でき、支持基板 にムラなくウエーハの...
- 用途/実績例
真空貼り合せ装置 VSP300
- 概要
- 【特徴】 ○サファイア・GaAsに代表される様なウエハの高精度研磨を実現 ○槽内を減圧とし、ワックス内に含まれる気泡等の影響を極力迎え、均一な膜厚のワックスにより固定 ○加圧はエアシリンダとフレキシブル加圧プレートを用い、ウエハの傾きを補正して接着
- 用途/実績例
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