スパッタ装置 - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2025年10月15日〜2025年11月11日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【その他の特長】 ■ダブルロードロック室で高生産性を実現 ■ロータリタイプとマルチチャンバタイプを融合した搬送形態で  多様なプロセスへの対応と高スループットを両立 ■各ポジションに様々なユニットを装着可能 ■3~6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏...
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  1. 代表製品
    多層膜スパッタリング装置『S600』多層膜スパッタリング装置『S600』
    概要
    【その他の特長】 ■ダブルロードロック室で高生産性を実現 ■ロータリタイプとマルチチャンバタイプを融合した搬送形態で  多様なプロセスへの対応と高スループットを両立 ■各ポジションに様々なユニットを装着可能 ■3~6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏...
    用途/実績例