スパッタ装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2025年10月15日〜2025年11月11日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■ダブルロードロック室で高生産性を実現 ■ロータリタイプとマルチチャンバタイプを融合した搬送形態で 多様なプロセスへの対応と高スループットを両立 ■各ポジションに様々なユニットを装着可能 ■3~6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏... | |||
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- 代表製品
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多層膜スパッタリング装置『S600』
- 概要
- 【その他の特長】 ■ダブルロードロック室で高生産性を実現 ■ロータリタイプとマルチチャンバタイプを融合した搬送形態で 多様なプロセスへの対応と高スループットを両立 ■各ポジションに様々なユニットを装着可能 ■3~6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏...
- 用途/実績例
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