スパッタ装置 - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2025年09月03日〜2025年09月30日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【仕様】 <FDS-1C-160R Sputtering System> ■スパッタ電源:DC500V/0.8A ■カソード:φ2インチ/マグネトロンカソード ■適用ターゲット:Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc. ■真空排気系:ロー... 【用途・実績】 ■電子デバイス/固体ナノ構造デバイス/各種センサ/各種電池の開発
【仕様】 <FRS-HG-2CP260T Sputtering System> ■スパッタ電源:RF300W×2台 オートマッチング仕様 ■カソード:φ2インチ/マグネトロンカソード ■適用ターゲット:Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/各種酸... 【用途・実績】 ■電子デバイス/固体ナノ構造デバイス/各種センサ/各種電池の開発
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  1. 代表製品
    卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』
    概要
    【仕様】 <FDS-1C-160R Sputtering System> ■スパッタ電源:DC500V/0.8A ■カソード:φ2インチ/マグネトロンカソード ■適用ターゲット:Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc. ■真空排気系:ロー...
    用途/実績例
    【用途・実績】 ■電子デバイス/固体ナノ構造デバイス/各種センサ/各種電池の開発
    多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』
    概要
    【仕様】 <FRS-HG-2CP260T Sputtering System> ■スパッタ電源:RF300W×2台 オートマッチング仕様 ■カソード:φ2インチ/マグネトロンカソード ■適用ターゲット:Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/各種酸...
    用途/実績例
    【用途・実績】 ■電子デバイス/固体ナノ構造デバイス/各種センサ/各種電池の開発