貼合装置 - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2025年09月03日〜2025年09月30日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【特徴】 ○ウエーハの反りを矯正し、且つワックス層の厚みを極限まで抑えた接着により、極薄ウエーハの加工(作成)・ウエーハの厚みの高精度管理が可能とする接着装置 ○試料の加圧に空気圧力(ダイアフラム方式)を採用することにより、試料を均一に加圧でき、支持基板 にムラなくウエーハの...
【特徴】 ○サファイア・GaAsに代表される様なウエハの高精度研磨を実現 ○槽内を減圧とし、ワックス内に含まれる気泡等の影響を極力迎え、均一な膜厚のワックスにより固定 ○加圧はエアシリンダとフレキシブル加圧プレートを用い、ウエハの傾きを補正して接着
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  1. 代表製品
    真空貼り合せ装置(ボンディング装置)VAP250真空貼り合せ装置(ボンディング装置)VAP250
    概要
    【特徴】 ○ウエーハの反りを矯正し、且つワックス層の厚みを極限まで抑えた接着により、極薄ウエーハの加工(作成)・ウエーハの厚みの高精度管理が可能とする接着装置 ○試料の加圧に空気圧力(ダイアフラム方式)を採用することにより、試料を均一に加圧でき、支持基板 にムラなくウエーハの...
    用途/実績例
    真空貼り合せ装置 VSP300真空貼り合せ装置 VSP300
    概要
    【特徴】 ○サファイア・GaAsに代表される様なウエハの高精度研磨を実現 ○槽内を減圧とし、ワックス内に含まれる気泡等の影響を極力迎え、均一な膜厚のワックスにより固定 ○加圧はエアシリンダとフレキシブル加圧プレートを用い、ウエハの傾きを補正して接着
    用途/実績例