0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)
0.3秒以内の高速応答!設定流量の変更が多い装置に!圧力レンジも広範囲に対応(0.01~1.0MPa)
産業用マスフローコントローラはビュルケルト! 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応 → ~1.0 MPa ●最低必要差圧 → 10kPaでOK ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
- 企業:ビュルケルトジャパン株式会社
- 価格:応相談