洗浄装置 超音波洗浄槽付き
ウエハー洗浄装置。ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適。超音波洗浄で高精度に基板や試料をクリーニング可能
本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。 ストローク350mm、8inch基板に対応する超音波洗浄装置です。汚染や残留物を効率的に除去し、コーティング前処理に最適。高い洗浄力と安定性を兼ね備えています。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社SDI 京都本社
- 価格:応相談