静電チャック 吸着モニターユニット
静電チャックと制御電源の間に接続することで、静電チャックと対象物の状態を常時モニタリングすることが可能です。
クリエイティブテクノロジーの『吸着モニターユニット』は、静電容量を検出することで、静電チャックと対象物の吸着状態を常時モニタリングできるツールです。 静電チャックや電源の改造をすることなく、静電チャックと電源の間に接続するだけで、静電チャックにセンサ機能を付与することが可能です。 【特長】 ■対象物の吸着状態を常時モニタリング ■突発的な不具合の検出可能 ■取り付けが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社クリエイティブテクノロジー
- 価格：応相談
