真空ポンプ(排気) - 企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年05月21日~2025年06月17日
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製品一覧

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多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です!

【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル  ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率  省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト  非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他

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スクリュー式ドライ真空ポンプ

低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易

当社では、独自のスクリュー形状(Queen Bee Screw)により 驚くべき低速(3600min-1/60Hz、3000min-1/50Hz)を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • その他 バッテリー

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クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ 「KTS型」 

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ    

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。   【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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大学の研究室にも多数納入実績あり!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。   【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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クリーンプロセスでの御使用に最適!空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】   ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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コンパクトな水封真空ポンプ「DOLPHIN LM/LT」

扱いやすさと低価格にフォーカスした水封式真空ポンプ。真空乾燥、除水、減圧、脱気、蒸留、濃縮、滅菌などに必須の真空サプライにお勧め

★特徴その1★ 取付け簡単:ユニバーサルフランジを採用。JIS、ANSI、DIN/ENに 簡単に取付け可能です ★特徴その2★ 手早く交換:ベアリング・ボックス・カバーを外すだけでシール、 ベアリングの交換ができます。ポンプの分解不要なため、現場で 手早く作業可能です ★特徴その3★ 低価格:構造をシンプルにすることで小型化と低価格化を実現 ★特徴その4★ 材質の標準化を図り、短納期対応可能です

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スクリュー真空ポンプ COBRA NC シリーズ

化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに!

COBRA NC シリーズは、効率性の優れたドライスクリューポンプです。 当シリーズは、今までの堅牢な構造はそのまま残し、改良を加えました。 非常に厳しいプロセス条件下でも、 特殊のコーティングを施した一体型の不等ピッチ形状スクリューロ ーターが安全性・信頼性の高い運転を実現し運転コストについても低減しています。 【特長】 ● 高度なスクリュー設計 ● 効率性:省エネ、低メンテナンス、 低運用コスト ● 堅牢性:ベーパーや粒子に対する優れ た耐性、セルフドレン ● 卓越した性能:吸気圧に関わらず優れた排気 速度をキープ ● フレキシブル:空冷方式、各種シーリング、 コーティングを選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他

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ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ

半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介

スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能

  • その他

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コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBXシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式。

■2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式により、真空度60kPa以下の真空源、排気圧力60kPa以下の空気源として同時に独立して使用することができます。 ■従来のコンビネーションポンプに比べ、小型・軽量(当社比)。 ■また取扱いが容易です。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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油回転真空ポンプ『VDCシリーズ』

ブラシレスDC直流モーター搭載の油回転真空ポンプ

『VDCシリーズ』はブラシレス直流モーターを搭載した油回転真空ポンプです。 交流より静かで省電力、しかも軽量。 高真空が得られる2段排気方式。 逆流防止機能により、停電などで停止した場合に真空側へのオイルの逆流を防止します。 強制給油方式の採用により、大気圧付近でも排気速度が安定。 ガスバラスト機構により、凝縮性ガスや水蒸気吸引によるオイルの劣化と真空ポンプの能力低下を防ぎ、寿命を延ばします。 サーマルプロテクター内蔵により、連続運転でも安心。

  • 空気調和設備

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コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。

■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30%アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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ウルトラミニツーステージ真空ポンプ『TA150SW』

コンパクト×高真空×高機能!到達真空度3.3Pa(25ミクロン)ツーステージの威力!

『TA150SW』は、ツーステージローター搭載のウルトラミニツーステージ 真空ポンプです。 吸気された空気は直列につながれた2つのローターによって、より高く 圧縮されて排気。従って排気口と吸気口との間に大きな差圧が生じる こととなり、ワンステージのものより高い真空度を得ることができます。 また、ワンステージ目のローターに逆圧負荷がかからず、スムーズに 吸気回転ができるのも高真空を得る理由の一つです。 【特長】 ■コンパクト×高真空×高機能 ■ツーステージローター搭載 ■オイル逆流防止機構(電磁弁) ■コンパクトサイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ポンプ

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クロー真空ポンプ MINK MV 0310 B

搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューション。

搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適な、効率的かつクリーンなソリューションとなるMINK MV シリーズ真空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力  圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。  3~7割の省エネになるケースもあります! ■ 排気がクリーン  圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染  されたり、汚染されたガスが周囲に排 気されることがありません。 ■ フレキシブル  可変速ドライブ (VSD)搭載。お客様用途に合わせ柔軟に適応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他

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オイルフリー真空ポンプ KCPHシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。

■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気がクリーンのため周囲をオイルで汚しません。 ■先進性能を搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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スクリュー式ドライ真空ポンプ BEHシリーズ

リニューアルして再登場

大型機もシリーズに追加しました。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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