真空ポンプ(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2025年08月27日~2025年09月23日
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真空ポンプの製品一覧

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真空エジェクタ『耐薬品・耐ガス用CVコンバム(オーダメイド)』

本体およびノズル材質がオールステンレス!半導体製造装置で使用可能

株式会社妙徳では、本体およびノズル材質がオールステンレスの 耐薬品・耐ガス用CVコンバムをオーダーメイドにて提供しています。 材質はSUS303,SUS316を準備しております。 薬品・ガスなどの吸引に適しており、半導体製造装置で使用可能。 耐薬品性に優れるPTFEタイプ、さらにノズルと本体を PTFE溶接したタイプも製作いたします。 【特長】 ■本体およびノズル材質がオールステンレス ■半導体製造装置で使用可能 ■オールPTFEタイプも製作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ポンプ

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スクリュー式ドライ真空ポンプ BEHシリーズ

リニューアルして再登場

大型機もシリーズに追加しました。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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PISCOロータリー真空ポンプ 「RPV06」

消費電力の省力化、効率化を追及、長い寿命。さらに安全性、環境にも配慮。

PISCOロータリー真空ポンプ「RPV06」は、様々な用途に対応する環境配慮性能商品です。省エネルギー化、環境負荷低減化の動きが強まっている昨今、消費電力の 費用対効果が高い真空ポンプの使用が一部で始まっています。 既存の真空ポンプに比べ小形化・低運転音の弊社真空ポンプは、真空エアを使う様々な設備・業種に対応します。また、少数多品種生産・製品ライフサイ クル短縮などに伴う工程ラインの頻繁な組替・セル生産化を進める工場にも最適です。低真空90Lタイプ「RPV063-90」・低真空60Lタイプ「RPV062-60」・中真空40Lタイプ「RPV06A-40」がございます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

  • 接着剤

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スクリュー式ドライ真空ポンプ TDシリーズ

扱いやすく、メンテナンスもラク。

コストパフォーマンスにすぐれたドライ真空ポンプシリーズ。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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株式会社SGC クライオポンプ修理(オーバーホール)

弊社におまかせ下さい。

修理(オーバーホール)に二通りの方法で対応しております。

  • その他

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ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ

半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介

スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能

  • その他

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コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。

■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30%アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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オイル真空ポンプ ベッカー Becker Uシリーズ 

創業130年 真空ポンプの老舗 Becker ベッカー オイルポンプ

創業130年 真空ポンプの老舗 Becker ベッカー ベッカーのオイルポンプは小さい風量(6?/h)から大風量(630?/h)まで。 細かい刻みで幅広いラインナップから、お客様に最適な流用をご選択頂けます。 (6、20、40、70、100、165、190、250、300、400、630 ?/h) ベッカーエアーテクノ(株)はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点(東京・大阪・つくば・広島)日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。

  • ポンプ

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ベッカー(Becker) 製品総合カタログ

創業130年の老舗真空ポンプの専業メーカー!ベッカーの真空ポンプ、ブロア、コンプレッサの総合カタログです。

真空ポンプ・バキュームポンプ・コンプレッサなどの多数製品を掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ 〇オイル真空ポンプ 〇コンプレッサ ○サイドチャネルブロワ・リングブロワ ○スクリュー真空ポンプ ○ラジアルバキュームポンプ ○ロータリーベーン式コンプレッサ ○スクリューコンプレッサー ○ラジアルブロワ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ポンプ

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ドライ真空ポンプ ベッカー Becker VADS1500

創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低

創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS1500 ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量!最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ(株)はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点(東京・大阪・つくば・広島)日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。

  • ポンプ

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株式会社コスモファクトリー 会社案内

自然環境と調和した事業活動を行い、社会の進歩と繁栄に貢献することを目指します!

コスモファクトリーは、真空ポンプの点検・整備・メンテナンス サービスを行っております。 各種メーカーの生産工程に活きる当社の豊富な知識と確かな技術。 半導体プロセスラインを主体とした真空ポンプの点検、設備、 補修などのサポートサービスは、ひとつの技術商品として確立しており、 高い評価をいただいております。 さらに、より生産性の向上を目指した関連部品も独自に研究開発。 各種メーカーのパートナー企業として、当社は技術への限りない挑戦と 創造に努めています。 【業務内容】 ■ポンプ修理 ■メンテナンス各メーカー対応 ■新品・中古ポンプの販売 ■真空継手類製作・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ポンプ

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ベッカー(Becker) ドライ真空ポンプ 総合カタログ

ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。

完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?

  • ポンプ

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ドライ真空ポンプ ベッカー Becker VADS250

創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低

創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS250 ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ 吸込風量 290?/h 最大真空度 0.1 mbar インバーター内蔵のため外付けする必要なし 既設のオイルポンプからの置き換えや、複数台を1台に集約することでコストを抑えるなど、オイルを使用したくないクリーンな環境にも対応した次世代のポンプとしてさまざまな分野でお使い頂いております。 メンテナンス代も含めたトータルコストの削減が可能です。 お問い合わせ頂ければ、コストメリット算出のお見積りいたします。 ベッカーエアーテクノ(株)はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点(東京・大阪・つくば・広島)日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。

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オイルフリー真空ポンプ KCPシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。

■先進性能を搭載したベーシックモデル。 新開発高効率ロータ(非接触)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。耳障りとなる低周波領域(主に300Hz以下)を大幅に低減しました。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)は、デジタル解析技術により最適なロータ曲線を実現。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。 ■PTFEシールの採用でドライ摺動を実現。 シール部の最適設計により、ポンプ室へのオイル侵入を遮断。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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オイルフリー真空ポンプ インバータモデル KCEシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。

■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84%の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84%の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。

  • 空気圧縮機・送風機及びポンプ

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