減圧弁(駆動部) - 企業1社の製品一覧

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ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁 「RS.M/Sシリーズ」

感度0.1%F.S. ヒステリシス0.1%F.S.という高精度の空気圧制御

●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。 ●リリーフ感度が優れている為,高精度な圧力制御が可能です。 ●5 相ステッピングモータ駆動により,1 ステップの駆動で設定圧をわずかだけ,確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば,圧力分解能0.1kPa 以下の高分解能設定が可能です。

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