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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動車工場内での車両の搬送、大型駐車場内での車両搬送、無断駐車・違法駐車の移動、故障車の移動（ロードサービス）に最適です。
中国、深圳のベンチャー、シャンイテクノロジーズ社 (Shanyi Technologies 深圳閃移技術有限責任公司）が開発、量産化に成功した自動バレーパーキングロボット、車両搬送ロボットになります。 最大3tまでの車両を最大1.3m / 秒 (4.6km / h) で移動させることができます。 2025年発表の最新機種には横移動（カニ歩き）、その場回転（コマ回り）の機能が追加され、さらに限られたエリアでの作業が可能になりました。 車両の横方向からの進入、搬送も可能です。 フル充電で4時間の操作が可能です。2cmまでの水たまりなら雨天での操作も可能です。 エンジンをふかす必要がないので、屋内で使用しても排気ガスが充満せず働く環境が改善されます。 一般的な車両搬送ロボットは本体だけで3t近い重量があり、車両積載時は5tを超えアスファルト・コンクリートの路面を激しく痛めます。 畳のような平坦なCOMBOは本体500kgの超軽量設計。2tの車両を載せても2.5tに収まるため、路面へのダメージは他社製品の半分以下。長期的なインフラ維持コストを大幅に引き下げます。
【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
重量物の搬送に最適！ロングリーチで上下ストローク4.8m可能なロボット
不二越製『SC400L』は、余裕の可搬質量で、従来困難であった大形・重量物の 搬送が可能なロボットです。 上下ストロ－ク4.8mで、ロングリーチを生かして、中2階の搬送ラインへの 持ち上げ用途に最適です。 【特長】 ■上下ストロ－ク4.8m ■中2階への持ち上げ用途に最適 ■フレキシブルなライン構成が可能 ■可搬質量400kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
