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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングルアーム真空ロボット
■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
重量物の搬送に最適！ロングリーチで上下ストローク4.8m可能なロボット
不二越製『SC400L』は、余裕の可搬質量で、従来困難であった大形・重量物の 搬送が可能なロボットです。 上下ストロ－ク4.8mで、ロングリーチを生かして、中2階の搬送ラインへの 持ち上げ用途に最適です。 【特長】 ■上下ストロ－ク4.8m ■中2階への持ち上げ用途に最適 ■フレキシブルなライン構成が可能 ■可搬質量400kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅な低減を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通信技術により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を削減
■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の 3種に対応可能。 ■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動車工場内での車両の搬送、大型駐車場内での車両搬送、無断駐車・違法駐車の移動、故障車の移動（ロードサービス）に最適です。
中国、深圳のベンチャー Shenzhen Shanyi Technologies（深圳閃移技術有限責任公司）が開発、量産化にこぎつけた自動車両搬送ロボット・自動駐車ロボット（自動バレーパーキングロボット：Valet Parking System) になります。 全自動タイプは、自社の運行管理システムを使い、複数のロボット (AMR) をそれぞれの車両に効率的に割り当てながら車両搬送することが可能になります。 商業施設、空港、高速道路、鉄道駅、病院などの大型駐車場、また自動車工場内での車両の搬送、完成車のモータプールまでの搬送にも採用されています。 一方、1台のみを動かすリモコンタイプは、違法駐車の移動、ロードサービス、レッカーサービスで事故車両・故障車のフルフラット積載車までの搬送、積み込みに最適です。Aピラーとハンドルを握りながら手押しする重労働から解放されます。 当社は日本での総代理店になります。修理、メンテナンスにも対応、横浜市都筑区の弊社駐車場でのデモ、実験も可能です。 電波法の技適に準拠したWifiを使用しております。 購入前の3か月、6か月のレンタルにも対応しております。
