【事例紹介】成膜装置のプレヒート
【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
- Company：ウシオ電機株式会社
- Price：応相談
ランプヒータ(真空) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products
ランプヒータ Product List
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