フォトリソ・メンテナンス用ライト
イエローライトなので、露光装置、コータデベロッパ装置のメンテナンスが安心!
『SEBAPRO Light』は、 光源にレジスト感光波長域を持たないLEDを使用したメンテナンス用ライトです。 分光分布が分かっているので、プロセス環境で安心して使用可能。小型なので持ち歩きに便利です。 半導体工場や、液晶工場でご活用ください。
- 企業:株式会社 SCREEN SPEサービス
- 価格:~ 1万円
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イエローライトなので、露光装置、コータデベロッパ装置のメンテナンスが安心!
『SEBAPRO Light』は、 光源にレジスト感光波長域を持たないLEDを使用したメンテナンス用ライトです。 分光分布が分かっているので、プロセス環境で安心して使用可能。小型なので持ち歩きに便利です。 半導体工場や、液晶工場でご活用ください。