【Twin-air】パターニング装置(ディスペンサー装置)
独自技術「Twin-air方式」を搭載した塗布描画装置 ｐＬ(ピコリットル)レベルの極微量塗布が可能です。
・特許技術「Twin-air方式」を搭載、トップクラスの微量塗布、細線描画が可能です。 ・2系統の光学観察系を搭載し、リアルタイム観察が可能です。 ・高剛性XYZステージを搭載、高品質塗布を実現します。 ・専用PCアプリにより、自由度のある塗布レシピの作成、保存、読出しが可能です。 ・オートアライメント機能、ノズルギャップ自動補正機能を標準搭載しています。
