ガス置換BOX一体型ナノインコーター NIC-1109G
ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置)。不活性ガス環境での高精度コーティングを実現するBOX一体型
本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。ナノインコーターはSDIの商標です。 詳しくはお問い合わせ下さい。 ストローク250mm、152mm×152mm基板に対応するモデルで、ガス置換BOXを一体化。酸化や湿度の影響を抑え、安定した離型剤塗布を可能にします。研究用途から精密部材試作まで、高信頼性が求められる場面に最適です。
- 企業:株式会社SDI 京都本社
- 価格:応相談