平行光露光装置
平行光露光装置のラインナップのご案内です。
均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
- 企業：ウシオライティング株式会社
- 価格：応相談
UV照射装置(ウェハ) - メーカー・企業と製品の一覧
UV照射装置の製品一覧
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LEDウェハーUV照射器
ウェハー用ダイシングテープの硬化用途、UV-LED採用で安定長寿命
LED採用で安定長寿命。 6インチ、8インチウェハー対応。 12インチウェハー用製作可能。 照射器交換可能(365,385,395,405nm等)。 0～１００％調光可能。 窒素置換(N2パージ)機構採用によりＵＶ硬化時の酸素阻害を軽減。
- 企業：株式会社アイテックシステム
- 価格：100万円 ~ 500万円
